星弧涂層科技有限公司一直站在國(guó)際PVD技術(shù)的前沿，擁有10多年的真空設(shè)備生產(chǎn)、服務(wù)和研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，一直致力于PVD技術(shù)的工業(yè)化應(yīng)用，并取得了卓越的成果。公司積累了豐富的PVD設(shè)備設(shè)計(jì)和制造經(jīng)驗(yàn),并可根據(jù)客戶(hù)的具體要求設(shè)計(jì)制造高品質(zhì)的真空鍍膜設(shè)備。 Jupiter系列PVD涂層設(shè)備：1）真空室有效尺寸- ø1500x1100mm 2）抽氣系統(tǒng)-機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵 3）靶-5個(gè)：磁控濺射-2個(gè)；磁控陰極弧-2個(gè)；離子源-1個(gè) 4）工件轉(zhuǎn)架-10~12個(gè)帶自轉(zhuǎn)行星轉(zhuǎn)架，每個(gè)工件均可自轉(zhuǎn) 5）控制系統(tǒng)- PLC用于工藝過(guò)程控制；PC用于控制界面 6）涂層- TiN，TiAlN， CrN， TiAlCrN等 7）主要應(yīng)用領(lǐng)域-一般切削刀具，成型及沖壓模具，耐磨零件。 Diamant系列PVD/IAPVD涂層設(shè)備：1）真空室有效尺寸- ø1300x1100mm 2）抽氣系統(tǒng)-機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵 3）靶-6個(gè)：磁控濺射-2個(gè)；IAPVD源-4個(gè) 4）工件轉(zhuǎn)架-12個(gè)帶自轉(zhuǎn)行星轉(zhuǎn)架，每個(gè)工件均可自轉(zhuǎn) 5）控制系統(tǒng)- PLC用于工藝過(guò)程控制；PC用于控制界面 6）涂層- TiN，TiAlN，DLC等 7）主要應(yīng)用領(lǐng)域-耐磨零件和自潤(rùn)滑零件，高檔工模具，特殊切削刀具。 Seeyu系列PVD涂層設(shè)備：1）真空室有效尺寸- ø1200x900mm 2）抽氣系統(tǒng)-機(jī)械泵+羅茨泵+分子泵 3）靶-6個(gè)：磁控濺射-1個(gè)；過(guò)濾陰極弧-3個(gè)；離子源-2個(gè) 4）工件轉(zhuǎn)架-12個(gè)帶自轉(zhuǎn)行星轉(zhuǎn)架，每個(gè)工件均可自轉(zhuǎn) 5）控制系統(tǒng)- PLC用于工藝過(guò)程控制；PC用于控制界面 6）涂層- ta-C, DLC， DLC-Al等 7）主要應(yīng)用領(lǐng)域-高檔工模具，耐磨零件和自潤(rùn)滑零件，特殊切削刀具。