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電子潔凈廠房
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展迅速。現(xiàn)代電子產(chǎn)品要求微型化、精密化、度、量和高性，電子產(chǎn)品本身使用的集成電路、電子元器件的生產(chǎn)過程都要求在受控的環(huán)境下進(jìn)行操作，受控參數(shù)涉及微粒、化學(xué)污染物等與產(chǎn)品生產(chǎn)過程接觸的各種介質(zhì)。電子廠房?jī)?nèi)氣流組織依據(jù)氣流流型可劃分為單向流、非單向流和混合流三種形式。目前對(duì)于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn)：
1、超大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法，在產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。
2、對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1-5級(jí)時(shí)，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級(jí)為6-9級(jí)時(shí)，基本上采用非單向流。
3、為有效降低能耗、消除空氣處理時(shí)冷熱抵消現(xiàn)象，對(duì)于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。
檢測(cè)項(xiàng)目：
1）懸浮粒子數(shù)
2）溫濕度檢測(cè)
3）噪聲的檢測(cè)
4）照度的檢測(cè)
5）風(fēng)量和風(fēng)速的檢測(cè)
6）靜壓差的檢測(cè)
7）過濾器檢漏光度計(jì)法
檢測(cè)依據(jù)：GB 50591-2010《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》
GB 50472-2008《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》
GB 50073-2001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》
