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全自動(dòng)
1.程序自動(dòng)進(jìn)行,一鍵掃描全板,每次掃描可測(cè)量多達(dá)數(shù)千個(gè)焊盤.
2.自動(dòng)識(shí)別基準(zhǔn)點(diǎn)標(biāo)志,以修正基板裝夾的位置差異.
3.掃描自動(dòng)適應(yīng)基板顏色和反光度,自主修正基板傾斜扭曲,自動(dòng)識(shí)別目標(biāo).
高精度
1.分辨率提高到納迷級(jí),有效分辯率0.056微米
2.高重復(fù)精度0.5微米,認(rèn)為誤差小.
3.數(shù)字影像傳輸,抗干擾,自動(dòng)糾錯(cuò),準(zhǔn)確度高.
4.高取樣密度,每平方毫米上萬(wàn)點(diǎn).
5.馬達(dá)不經(jīng)過(guò)齒輪或皮帶,直接驅(qū)動(dòng)絲桿定位精度高.
