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液晶腐蝕減薄清洗機(jī)
型號(hào)：CGB—XX-X系列，品牌：華林嘉業(yè)—CGB⑴整機(jī)采用德國/合資磁白色PP板焊接而成，本機(jī)每槽可同時(shí)清洗2（非標(biāo)）個(gè)花籃。本設(shè)備外型美觀，耐酸性能好，操作方便，運(yùn)行，是半導(dǎo)體生產(chǎn)線理想的硅片清洗設(shè)備。 ⑵本設(shè)備由機(jī)架部分、整機(jī)部分、槽體部分、伺服系統(tǒng)、及機(jī)械傳動(dòng)部分、電氣控制系統(tǒng)構(gòu)成。⑶工藝過程全自動(dòng)，機(jī)械手在槽間轉(zhuǎn)換靠PLC來控制，美國導(dǎo)軌和機(jī)械手來滿足工藝時(shí)序。⑷除裝片和取片需人工外，其余工藝動(dòng)作均由機(jī)械手來實(shí)現(xiàn)，適用于連續(xù)批量生產(chǎn)。⑸機(jī)
