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立式雙籃硅晶圓清洗甩干機
型號：CGB-XXXX—XX系列，品牌：華林嘉業(yè)—CGB一、 功能： 1. 把工件放入硅片盒中，再放在旋轉(zhuǎn)支架上。 2. 雙手按住啟動按鈕，油缸自動蓋上頂蓋， 3. 油缸上的感應(yīng)門鎖到位后，顯示門鎖住。頂蓋的噴桿開始噴凈水，外筒排水，筒內(nèi)不允許有積水，同時旋轉(zhuǎn)支架開始轉(zhuǎn)動，目前轉(zhuǎn)速為低速(轉(zhuǎn)速一)，且可以人為的設(shè)定。(目前工藝：200轉(zhuǎn)/分，2分鐘)。清洗的時間可以根據(jù)需要調(diào)整。 4. 清洗結(jié)束，頂部的噴桿停止噴，開始噴加熱的氮氣，邊噴邊加熱。加熱的溫度分為高溫和低溫。加熱的時間可以人為設(shè)定，油浴爐的溫度為110度，較高溫度設(shè)定可以顯示器上修改。(目前工藝：500轉(zhuǎn)/分，6分鐘)。加熱采用油浴爐加熱，加熱介質(zhì)為乙二醇
