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一，機器用途
CXL-220KJ-4/6型鏡片擴張機被廣泛應(yīng)用與發(fā)光二極管，中小型功率三極管，集成電路和一些特殊半導體器件生產(chǎn)企業(yè)內(nèi)的晶粒擴張工序。
二，機器特點：
①采用雙氣缸上下控制；
②恒溫設(shè)計，膜片周邊擴張均勻適度；
③加熱，拉伸，擴晶，固膜一次完成；
④加熱溫度，擴張時間，回程速度均勻可調(diào)；
⑤操作簡便，單班產(chǎn)量大；
⑥機器外型見實物。
三，技術(shù)參數(shù)：
1，電源電壓：220VAC（50Hz)士10%
2，工作氣壓：4Kg/cm2
3，溫度范圍：室溫~350℃
4，上氣缸行程：150/200mm
5，下氣缸行程：100mm（可雙向調(diào)節(jié)）
6，擴張面積：120/270cm2
7，外型尺寸：270x220x820mm(長x寬x高）
8，機器重量：20Kg
四，操作步驟：
1，插上電源，氣管快速接頭接上高壓氣管；
2，打開電源開關(guān)，將溫度設(shè)定于75℃（不同晶片膜溫差異士5℃）；
3，將上氣缸開關(guān)撥至“上升”位置，上壓?；刂磷钌戏?，將下氣缸開關(guān)撥至下降位置，下壓?；刂磷钕路剑ǚ磸蛶状蜗職飧讋幼?，將上升速度調(diào)整至適合速度）
4，松開鎖扣，掀起上工件板，先將擴晶環(huán)內(nèi)環(huán)放于下壓模上，再將粘有晶片的翻晶膜放于下工件正中央，晶片朝上，將上工件板蓋上，鎖緊鎖扣。
5，將下氣缸開關(guān)撥至“上升”位置，下壓模徐徐上升，薄膜開始向四周擴散，晶粒間隔逐漸拉大，當晶片間隔擴散至原來的2~3倍時既停止上升，將擴晶環(huán)外環(huán)圓角朝下平放在薄膜與內(nèi)環(huán)正上方。
6，將上氣缸開關(guān)撥至“下降”位置，上壓模下降，將擴散后的翻晶膜套緊定位，上壓?；刂磷钌戏?。
7，將下氣缸開關(guān)撥至“下降”位置，下壓模下降至最下方，取出擴晶完畢的翻晶膜，修剪多余膜面，送下工序備膠固晶。
