質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器質(zhì)量流量計(jì)控制器采用320*240彩色觸摸屏。全中/英文界面，清洗，關(guān)閉，控制，規(guī)格量程，氣體種類，一鍵式操作。顯示界面直觀，操作簡(jiǎn)便產(chǎn)品創(chuàng)新點(diǎn)傳感器芯片技術(shù)ZF—MFC-質(zhì)量流量計(jì)控制器采用了傳感器.使精度，溫漂，環(huán)境的劇烈變化影響得到極大的提高無毛細(xì)管技術(shù)通氣口徑達(dá)到6mm,對(duì)粘度較大，含雜質(zhì)氣體能精度。如硫化氫氣體等。超微流量控制小流量分辨率0.01ml/min并能控制觸摸屏功能ZF—MFC-2產(chǎn)品采用新技術(shù)，所有量程，氣體切換一鍵搞定，操作方法一目了然，并有中英文可隨意選擇，強(qiáng)大的操作功能,可以完全兼容所有廠家的客戶端接口高精度快響應(yīng)ZF—MFC-3質(zhì)量流量計(jì)控制器,產(chǎn)品準(zhǔn)確度采用設(shè)定點(diǎn)精度，顯示精度，標(biāo)定精度三點(diǎn)精度可達(dá)0.5%FS，響應(yīng)時(shí)間≤200m質(zhì)量流量計(jì)使用注意事項(xiàng)對(duì)于反應(yīng)系統(tǒng)，建議在氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器的出流端加裝單向閥，以防止異常情況下反應(yīng)物倒流損壞質(zhì)量流量計(jì)控制器。對(duì)于高壓系統(tǒng)，應(yīng)在氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器的下游加裝背壓閥，氣體質(zhì)量流量計(jì)的工作壓力。注意加裝過濾器以凈化氣源，延長(zhǎng)質(zhì)量流量計(jì)控制器的使用壽命。對(duì)于硅烷這樣的遇氣體易形成結(jié)晶的氣體，應(yīng)特別注意系統(tǒng)的密閉性，必要時(shí)設(shè)計(jì)清洗旁路，隨時(shí)進(jìn)行氮?dú)獯迪椿蜻^壓保持。有高頻源的系統(tǒng)應(yīng)注意屏蔽并特別注意處理好接地問題。對(duì)于高真空系統(tǒng)注意各路接頭盡量減少，并采用VCR等接頭質(zhì)量流量計(jì)控制器的安裝位置應(yīng)易于裝卸，檢測(cè)，調(diào)零并安全。對(duì)精度特殊要求極高的系統(tǒng)應(yīng)注意冗余設(shè)計(jì)注意正確使用操作.對(duì)于比較復(fù)雜的系統(tǒng)或使用特殊氣體的系統(tǒng)，應(yīng)當(dāng)建立自己的操作規(guī)程。注意輕拿輕放妥善保管，質(zhì)量流量控制器非常精密，應(yīng)避免受到撞擊和震動(dòng)，產(chǎn)品不用時(shí)注意放在較好環(huán)境中妥善保管。注意定期標(biāo)定，如果自帶標(biāo)定裝置可以省去。注意使用氣體與流量計(jì)的密封材料相適應(yīng)。質(zhì)量流量控制器通常采用的密封材料是氟橡膠，能適應(yīng)大多數(shù)氣體的使用，包括HCL這樣的強(qiáng)腐蝕氣體，但對(duì)于氨氣必須使用耐氨橡膠，對(duì)于有機(jī)溶劑類氣體，如丙酮，甲苯等必須使用硅橡膠，對(duì)于使用三氯化硼，三溴化硼等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)，必須使用四氟密封或金屬密封,流量計(jì)用戶在訂貨時(shí)必須注意