質(zhì)量流量計(jì)、流量計(jì)ZF-MFC-XX系列質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器質(zhì)量流量控制器（MassFlowController縮寫(xiě)為MFC）是以氣體的質(zhì)量流量為計(jì)量基準(zhǔn)的流量計(jì)。傳感器采用流量傳感芯片及溫度補(bǔ)償技術(shù)，其測(cè)量值不隨氣體的壓力,溫度的變化而波動(dòng)。較之一般的體積流量計(jì)具有無(wú)可比擬的優(yōu)越性，同時(shí)具有全量程高穩(wěn)定性，高精度和優(yōu)良的重復(fù)性，測(cè)量精度高，計(jì)量的起始流量小，自動(dòng)穩(wěn)零點(diǎn)，響應(yīng)速度快。同時(shí)可輸出4~20mA信號(hào)，可供遠(yuǎn)程儀表連接由上位機(jī)實(shí)現(xiàn)設(shè)定、控制、記錄等功能。質(zhì)量流量計(jì)的應(yīng)用管道的氣體--沼氣，煤氣，天然氣，液化氣，鍋爐預(yù)熱空氣。石油與天然氣工業(yè)--燃?xì)庥?jì)量，氣體質(zhì)量分析，泄漏氣測(cè)試，天然氣測(cè)量。電力行業(yè)--燃料系統(tǒng)中氣體分配過(guò)程中的氣體測(cè)量，鍋爐乃輔助系統(tǒng)中各種氣體的測(cè)量，燃?xì)鉅t中氣體測(cè)量，氫氣測(cè)量控制，電廠(chǎng)高爐的一次風(fēng)，二次風(fēng)的測(cè)量?；瘜W(xué)工業(yè)--煙氣循環(huán)測(cè)量，采樣系統(tǒng)中氣體流量計(jì)量控制。引風(fēng)機(jī)的氣體流量計(jì)量控制，化肥廠(chǎng)氨氣測(cè)量控制，電池工廠(chǎng)各種氣體流量測(cè)量控制。冷扎行業(yè)--鋼鐵廠(chǎng)加氣測(cè)量，煉鋼廠(chǎng)，高爐煤氣測(cè)量，焦化廠(chǎng)焦?fàn)t煤氣的測(cè)量控制，軋鋼廠(chǎng)加熱爐燃?xì)獾臏y(cè)量控制，熱處理爐的氫，氧，氮等氣體的控制。食品及醫(yī)療行業(yè)--熱氧化過(guò)程中氣體流量測(cè)量控制，通風(fēng)系統(tǒng)鍋爐進(jìn)氣，廢棄，二氧化碳的處理等。系統(tǒng)集成商特殊氣體廠(chǎng)商，真空元件供應(yīng)商，真空系統(tǒng)集成商，電池系統(tǒng)集成商，生化系統(tǒng)集成商，氣體裝配流水線(xiàn)集成商，大學(xué)實(shí)驗(yàn)室，科研機(jī)構(gòu)實(shí)驗(yàn)室，氣體公司，研發(fā)機(jī)構(gòu)。典型應(yīng)用--電子工業(yè)設(shè)備，如氧化，CVD,擴(kuò)散，外延，等離子蝕刻，離子注入和濺射，以及微反應(yīng)裝置，配氣和混氣系統(tǒng)，鍍膜設(shè)備，光釬熔煉，氣相色譜以及其他分析儀器。質(zhì)量流量計(jì)使用注意事項(xiàng)對(duì)于反應(yīng)系統(tǒng)，建議在氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器的出流端加裝單向閥，以防止異常情況下反應(yīng)物倒流損壞質(zhì)量流量計(jì)控制器。對(duì)于高壓系統(tǒng)，應(yīng)在氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器的下游加裝背壓閥，氣體質(zhì)量流量計(jì)的工作壓力。注意加裝過(guò)濾器以?xún)艋瘹庠?，延長(zhǎng)質(zhì)量流量計(jì)控制器的使用壽命。對(duì)于硅烷這樣的遇氣體易形成結(jié)晶的氣體，應(yīng)特別注意系統(tǒng)的密閉性，必要時(shí)設(shè)計(jì)清洗旁路，隨時(shí)進(jìn)行氮?dú)獯迪椿蜻^(guò)壓保持。有高頻源的系統(tǒng)應(yīng)注意屏蔽并特別注意處理好接地問(wèn)題。對(duì)于高真空系統(tǒng)注意各路接頭盡量減少，并采用VCR等接頭質(zhì)量流量計(jì)控制器的安裝位置應(yīng)易于裝卸，檢測(cè)，調(diào)零并安全。對(duì)精度特殊要求極高的系統(tǒng)應(yīng)注意冗余設(shè)計(jì)注意正確使用操作.對(duì)于比較復(fù)雜的系統(tǒng)或使用特殊氣體的系統(tǒng)，應(yīng)當(dāng)建立自己的操作規(guī)程。注意輕拿輕放妥善保管，質(zhì)量流量控制器非常精密，應(yīng)避免受到撞擊和震動(dòng)，產(chǎn)品不用時(shí)注意放在較好環(huán)境中妥善保管。注意定期標(biāo)定，如果自帶標(biāo)定裝置可以省去。注意使用氣體與流量計(jì)的密封材料相適應(yīng)。質(zhì)量流量控制器通常采用的密封材料是氟橡膠，能適應(yīng)大多數(shù)氣體的使用，包括HCL這樣的強(qiáng)腐蝕氣體，但對(duì)于氨氣必須使用耐氨橡膠，對(duì)于有機(jī)溶劑類(lèi)氣體，如丙酮，甲苯等必須使用硅橡膠，對(duì)于使用三氯化硼，三溴化硼等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)，必須使用四氟密封或金屬密封,流量計(jì)用戶(hù)在訂貨時(shí)必須注意