MEMS加工技術(shù)主要有從半導體加工工藝中發(fā)展起來的硅平面工藝和體硅工藝。八十年代中期以后利用X射線光刻、電鑄、及注塑的LIGA技術(shù)誕生，形成了MEMS加工的另一個體系。MEMS的加工技術(shù)可包括硅表面加工和體加工的硅微細加工、LIGA加工和利用紫外光刻的準LIGA加工、微細電火花加工（EDM）、超聲波加工、等離子體加工、激光加工、離子束加工、電子束加工、立體光刻成形等。但是構(gòu)成這些微型機械的零件是各種各樣而紛繁復雜的，要想使微型機械性能真正地過關并達到實用的程度，必須要盡快地提高微型機械零件的制造工藝與設備的水平。目前微型機械零件的制造工藝為成熟的技術(shù)就是光刻，許多經(jīng)典的微型機械零件制造的成果，基本上都是采用光刻或電鑄技術(shù)完成的。然而這些成熟的工藝方法所加工的微型機械零件只能是二維的（或準三維），而實際真正的三維形狀零件用光刻技術(shù)是完成不了的。在微型機械中，存在著許多三維的微小零件，如微型模具、直徑為70μM的微小螺紋、微型齒條、直徑為50μM的銷子、各段直徑分別為200μM、100μM、50μM的階梯軸、外徑為300μM的旋轉(zhuǎn)拋物面等，這些典型的三維微小零件的加工，不僅用光刻、三束加工等工藝方法實現(xiàn)不了，用傳統(tǒng)的機械制造系統(tǒng)也是不可能實現(xiàn)的。因此，必須針對三維微小機器的特點，開發(fā)和研制微型制造系統(tǒng)，在這種新概念制造系統(tǒng)中實現(xiàn)微小機器零件的加工、檢測和裝配。由微小型設備組成的制造微小型機器的系統(tǒng)稱為微型制造系統(tǒng)，其中技術(shù)難題包括微小型機器零件的加工、檢測和裝配等，關于這方面的研究工作主要集中在日本和美國。日本在這方面首先提出了微型桌面工廠的概念。北京機加工的成長遠景若何？對于此刻的財產(chǎn)生產(chǎn)來講，我們需要操作到的必定是各類的設備，而且我們也知道此刻的財產(chǎn)生產(chǎn)傍邊重要的一個方面就是呀對于各類設備的操作，可是我們還有一個方面不能輕忽的就是對于各類加工工藝的操作，而比方我們的北京市機加工就是其中很是重要的一種加工工藝，而且人們對于他的成長遠景也是很是感樂趣的。而對于我們的北京機加工來講，我們可以必定答復的就是它的倡導遠景是很是有成長的。而之所以這么說，我們首先可以從此刻的市場方面去看，我們知道此刻我們成長的一個行業(yè)必定就是財產(chǎn)了，而對于財產(chǎn)來講，其中要想獲得更大的成長，那么就必需要能逐步的改良現(xiàn)有的工藝。而這對我們很多的企業(yè)來講，北京機加工就是一個很是好的選擇，所以它能夠有著更大的成長也是我們可以料想到的。當然我們還可以從他的本人去看，由于對于我們的這類工藝來講，它是此刻財產(chǎn)行業(yè)傍邊一種斗勁前進先輩也是斗勁超卓的一種工藝，而且它操作在我們的現(xiàn)實生產(chǎn)到誰人在，對于生產(chǎn)效率的前進浸染是必定的。所以此刻大大都的企業(yè)對于這一類的北京機加工工藝需求，必定是不會少的。而從以上的這些方面來看，我們就可以知道對于這個行業(yè)來講，在未來幾年財產(chǎn)加倍有成長的時辰，它必定也是會隨之有更大的成長。臥式加工中心的主軸是水平設置的。一般的臥式加工中心有三個到五個坐標軸，常配有一個回轉(zhuǎn)軸（或回轉(zhuǎn)工件臺），主軸轉(zhuǎn)速在10～10000r／min之內(nèi)，小分辨率一般為lμm，定位精度為10μm—20μm。臥式加工中心刀庫容量一般較大，有的刀庫可存放幾百把刀具。臥式加工中心的結(jié)構(gòu)較立式加工中心復雜，體積和占地面積較大，價格也較高。臥式加工中心較適于加工箱體類零件。只要一次裝夾在回轉(zhuǎn)工作臺上，即可對箱體（除頂面和底面之外）的四個面進行銑、鏜、鉆、攻絲等加工。特別是對箱體類零件上的一些孔和型腔有位置公差要求的（如孔系之間的平行度、孔與端面的垂直度、端面與底面的垂直度等），以及孔和型腔與基準面（底面）有嚴格尺寸精度要求的，在臥式加工中心上通過一次裝夾加工，容易得到，適合于批量工件的加工。臥式加工中心程序調(diào)試時，不如立式加工中心直觀、容易觀察，對工件檢查和測量也感不便，且對復雜零件的加工程序調(diào)試時間是正常加工的幾倍，所以加工的工件數(shù)量越多，平均每件占用機床的時間越少，因此用臥式加工中心進行批量加工才合算。但它可實現(xiàn)普通設備難以達到的精度和質(zhì)量要求，因此一些精度要求高，其它設備無法達到其精度要求的工件，特別是一些空間曲面和形狀復雜的工件，即使是單件生產(chǎn)，也可考慮在臥式加工中心上加工。由此可見加工中心即是、量的自動化生產(chǎn)設備，又是攻克工藝難題的設備。