生產(chǎn)型研究用光學(xué)鍍膜 光學(xué)元件原子級(jí)清洗鍍膜系統(tǒng) 光學(xué)元件原子級(jí)拋光鍍膜設(shè)備概述： NANO-MASTER 離子束清洗拋光-磁控濺射鍍膜系統(tǒng)提供先進(jìn)的技術(shù)，在一個(gè)腔體中實(shí)現(xiàn)原子級(jí)清洗和光學(xué)樣片拋光，然后把樣片傳送到第二級(jí)腔體中對(duì)同一樣片進(jìn)行表面涂覆，整個(gè)過程不間斷真空。系統(tǒng)的設(shè)計(jì)也可以支持其中任一個(gè)腔體的單獨(dú)使用，同時(shí)具備各自的自動(dòng)上/下載片功能。 一、光學(xué)元件原子級(jí)拋光鍍膜設(shè)備應(yīng)用： Optical Coatings 光學(xué)涂層 Sputtering 濺射 IBAD IBAD離子束輔助沉積 Ion Beam Etching Cleaning 離子束刻蝕清洗 Ion Beam Assisted Reactive Etching 離子束輔助反應(yīng)刻蝕 Infrared Coatings 紅外涂層 Surface Treatment 表面處理 二、光學(xué)元件原子級(jí)拋光鍍膜設(shè)備產(chǎn)品特點(diǎn): RF Biasable Platen RF射頻偏壓樣品臺(tái) Thickness Monitor 膜厚監(jiān)測(cè)儀 5x10-7 Torr Base Pressure 極限真空5x10-7Torr High Accuracy and Repeatability 高精度及高重復(fù)性 High Quality Films 高品質(zhì)膜層 Atomic Level Clean Surfaces 原子級(jí)的潔凈表面 Atomic Cleaning and Polishing 原子級(jí)清洗和拋光 PC Controlled with LabVIEW 通過LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制 Automatic Load/Unload 自動(dòng)上下載片 Automatic Transfer Between Chambers 兩個(gè)腔體之間自動(dòng)傳送 Recipe Driven, Password Protected 菜單驅(qū)動(dòng)，4級(jí)密碼訪問保護(hù) Safety Interlocks 完整的安全聯(lián)鎖 46”D x 44”W Footprint 占地面積46”D x 44”W 三、光學(xué)元件原子級(jí)拋光鍍膜設(shè)備選配項(xiàng): Sputter Down/Up 向下/向上濺射 Co-Sputtering 共濺射 DC, RF and Pulsed Power Supplies DC，RF以及脈沖電源 Ion Beam Assisted Deposition 離子束輔助沉積 E-Beam Sources 電子束源 Plasma Sources 等離子源 那諾中國(guó)有限公司///生產(chǎn)型研究用光學(xué)鍍膜