Aerotech超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) 聯(lián)系人 葉振南 186-0036-4311 gkyezhennan@163.com 自1970年Aerotech開(kāi)始研制較高性能的運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品和精密定位系統(tǒng)，這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界范圍內(nèi)的工業(yè)制造、及自然科學(xué)研究等行業(yè)。Aerotech能夠?yàn)樯茖W(xué)及醫(yī)學(xué)設(shè)備，半導(dǎo)體加工，光子學(xué)，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，激光應(yīng)用，航空和國(guó)防，電子產(chǎn)品制造、測(cè)試及裝配等行業(yè)的研究和發(fā)展，以及其他需要高精度、高自動(dòng)化水平的解決方案提供滿足市場(chǎng)應(yīng)用苛刻要求的高性能精密運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品。 ABRS超精密轉(zhuǎn)臺(tái) ABRS氣浮軸承精密運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)擁有一個(gè)低矮的外形輪廓，并且能夠提供出眾的角度定位精度，卓越的速度穩(wěn)定性以及極小的運(yùn)動(dòng)誤差。ABRS精密轉(zhuǎn)臺(tái)的設(shè)計(jì)應(yīng)用于硅片檢測(cè)，高精度測(cè)量，激光衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢測(cè)和制造以及納米制造技術(shù)。 特點(diǎn): 1. 無(wú)刷無(wú)槽力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng) 2. 卓越的速度穩(wěn)定性（無(wú)齒槽效應(yīng)） 3. 佳的運(yùn)動(dòng)性能，誤差小，無(wú)抖動(dòng) 4. 直連式高精度圓光柵反饋 5. 扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 6. 氣浮軸承，無(wú)機(jī)械接觸 臺(tái)面直徑：128~278mm 反饋分辨率：0.036~0.18 arc sec 雙向重復(fù)定位精度：<1arc sec 定位精度： 2 arc sec 異步軸跳： 20nm 異步徑跳： 20nm 1專為硅片檢測(cè)，X射線衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì) 2無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng) 3突出的速度穩(wěn)定性，波動(dòng)率低于萬(wàn)分之一（電機(jī)無(wú)接頭效應(yīng)） 4卓越的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng) 5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器 6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 7無(wú)機(jī)械接觸 臺(tái)面直徑100-200mm 分辨率0.027-0.055arcsec 雙向重復(fù)定位精度<1arcsec 定位精度 <2 arc sec 異步軸跳 <20nm 異步徑跳 <20nm