Aerotech超精密氣浮平臺(tái) 聯(lián)系人 葉振南 186-0036-4311 gkyezhennan@163.com 自1970年Aerotech開始研制較高性能的運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品和精密定位系統(tǒng)，這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界范圍內(nèi)的工業(yè)制造、及自然科學(xué)研究等行業(yè)。Aerotech能夠?yàn)樯茖W(xué)及醫(yī)學(xué)設(shè)備，半導(dǎo)體加工，光子學(xué)，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，激光應(yīng)用，航空和國(guó)防，電子產(chǎn)品制造、測(cè)試及裝配等行業(yè)的研究和發(fā)展，以及其他需要高精度、高自動(dòng)化水平的解決方案提供滿足市場(chǎng)應(yīng)用苛刻要求的高性能精密運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品。 ABL1000氣浮平臺(tái) 1專為高性能校準(zhǔn)和裝配應(yīng)用設(shè)計(jì) 2分辨率達(dá)2nm的直線編碼器反饋 3閉環(huán)分辨率可達(dá)0.5nm(使用A3200控制器) 4全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承) 5低噪音線性放大器 6全部非接觸設(shè)計(jì) 行程≤150mm 精度±0.20um 重復(fù)定位精度±0.05um 直線度±0.25um 平面度±0.25um ABL1500直線電機(jī)平臺(tái) 1專為高性能掃描和檢測(cè)應(yīng)用設(shè)計(jì) 2分辨率達(dá)到nm以下的直線編碼器反饋 3全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承) 4大負(fù)載高剛性幾何特性好 行程≤500mm 精度±0.20um 重復(fù)定位精度±0.10um 直線度±0.25um 平面度±0.25um ABL2000氣浮平臺(tái) 1專為晶片成像/缺陷探測(cè)/涂覆應(yīng)用設(shè)計(jì) 2運(yùn)動(dòng)超平滑,速度穩(wěn)定性突出 3直線編碼器或激光干涉儀反饋 4行程達(dá)1.2米 5全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承) 6全部非接觸設(shè)計(jì) 行程≤1200mm 精度±0.50um 重復(fù)定位精度±0.20um 直線度±0.25um 平面度±0.25um ABL3600氣浮平臺(tái) 1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測(cè)獨(dú)特應(yīng)用設(shè)計(jì) 2雙軸,大孔,開放式結(jié)構(gòu) 3非接觸直線編碼器反饋,精度高 4雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)XY軸 5所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承) 行程≤250mm 精度±1um 重復(fù)定位精度±0.20um 直線度±0.50um 平面度±1um ABL8000氣浮平臺(tái) 1專為有效負(fù)載大,負(fù)載重心偏離機(jī)架中心線的應(yīng)用設(shè)計(jì) 2十字交叉結(jié)構(gòu),剛性穩(wěn)定性引人注目,幾何特性好 3所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承) 4行程達(dá)1米 5直線編碼器或激光干涉儀反饋 6可集成包括花崗巖的XY子系統(tǒng) 行程≤1000mm 精度±0.50um 重復(fù)定位精度±0.20um 直線度±0.40um 平面度±0.40um ABL9000氣浮平臺(tái) 1世上較高性能的氣浮平臺(tái),適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測(cè)和加工等要求苛刻的場(chǎng)合 2所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承) 3行程達(dá)1.2米X1.2米 4Y軸雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng) 5直線編碼器或激光干涉儀反饋 6主動(dòng)控制偏轉(zhuǎn) 行程≤1200mm 精度±0.50um 重復(fù)定位精度±0.10um 直線度±0.50um 平面度±0.50um AHL9000直線電機(jī)平臺(tái) 1專為晶片檢測(cè)，平板顯示加工和光學(xué)檢測(cè)及制造應(yīng)用設(shè)計(jì) 2掃描軸是空氣軸承，步進(jìn)軸是機(jī)械軸承 3行程達(dá)1.2米X1.2米 4雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)步進(jìn)軸 5直線編碼器或激光干涉儀反饋 行程≤350mm 精度±1.0um 重復(fù)定位精度±0.20um 直線度±0.60um 平面度±0.60um ABG10000氣浮平臺(tái) 1氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)超平滑運(yùn)動(dòng) 2所有軸都預(yù)加載荷 3下面軸采用雙無刷直線伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng) 3行程達(dá)1mx1m 4非接觸直線編碼器(光柵) 5可選Z軸,隔振,機(jī)械底座和控制箱 6適用于高速拾取/放置,自動(dòng)化裝配,視覺檢測(cè),點(diǎn)膠機(jī),高精度檢測(cè)． 行程≤1000mm 精度±2um 重復(fù)定位精度±0.5um 直線度±1um 平面度±1um ABRS旋轉(zhuǎn)氣浮平臺(tái) 1專為高精密檢測(cè)，光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì) 2無刷無槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng) 3突出的速度穩(wěn)定性（電機(jī)無接頭效應(yīng)） 4卓越的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無抖動(dòng) 5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器 6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 7無機(jī)械接觸 臺(tái)面直徑128.1-278.1mm 分辨率0.18-0.036arcsec 雙向重復(fù)定位精度<1arcsec ABRT旋轉(zhuǎn)氣浮平臺(tái) 1專為高精密檢測(cè)，光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì) 2無刷無槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，高扭拒輸出 3突出的速度穩(wěn)定性（電機(jī)無接頭效應(yīng)） 4卓越的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無抖動(dòng) 5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器 6超大的空心軸徑，無機(jī)械接觸 臺(tái)面直徑100-200mm 分辨率0.055-0.027arcsec 雙向重復(fù)定位精度<1arcsec PlanarHD氣浮平臺(tái) 1較大2m/s掃描速度和5g加速度的輸出 2的轉(zhuǎn)向和小的穩(wěn)定時(shí)間 3主動(dòng)偏轉(zhuǎn)控制 4直線光柵或激光干涉儀反饋 5行程1.2mx1.2m 行程≤1200mm 精度±300nm 重復(fù)定位精度±50nm 分辨率0.25nm