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晶圓片快速脫氧高溫烘箱，10pa真空高溫氮?dú)饪鞠溆喼?本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理。
型號(hào) VOD-90 VOD-210 VOD-216
真空度 ≤10 pa
電源 AC380V 3φ 50HZ
功率（KW） 12 18 20
工作環(huán)境溫度
性能 溫度范圍 RT+10℃～450℃
升溫時(shí)間 2 ℃/minute～4 ℃/minute
降溫時(shí)間 2 ℃/minute～4 ℃/minute
(400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)
結(jié)構(gòu) 外殼 冷扎碳鋼板，經(jīng)防銹處理后靜電噴塑，耐劃傷
內(nèi)膽 5mm厚，SUS304不銹鋼，不銹鋼內(nèi)外表面拋光
保溫材料 厚度150毫米硅酸保溫棉，保溫性能良好
箱門 真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護(hù).(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個(gè)月更換一次)
真空泵 LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購(gòu)真空泵,或者制定真空泵型號(hào));
加熱系統(tǒng) 四面輻射加熱
電器系統(tǒng) 系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮?dú)鈫⑼＃?
溫控輸出 SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器
安全保護(hù) 加熱電流過流、系統(tǒng)短路保護(hù)、電壓過壓保護(hù)、真空泵過負(fù)載、
缺相保護(hù)、電爐超溫報(bào)警等功能
內(nèi)容積（L）） 91 215 252
內(nèi)部尺寸（㎜） W450×D450×H450 W560×D640×H600 W700×D600×H600
外部尺寸（㎜） W800×D800×H1715 W910×D990×H1865 W1050×D950×H1865
