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配有特殊過濾裝置晶圓烘烤專用無塵烘箱
一、Class 10無塵烘箱產(chǎn)品概述:
本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989，GB2423.2-1989干燥箱技術條件及相關標準研究制造，廣泛應用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
二、Class 10無塵烘箱主要技術指標：
2.1.無塵烘箱型號：COL-4
2.2無塵等級：Class 10
2.3溫度范圍： 60℃～ 300℃；
2.4溫度均勻度：±1.5%;
2.5溫度波動度：±0.5℃（空載）
2.6溫控精度：±0.1℃;
2.7烘箱擱板為活動形式。
三、Class 10無塵烘箱箱體結構：
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風道系統(tǒng)部分組裝而成，結構合理，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵；
3.3箱體材料：采用SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔可防止微塵；
3.4內(nèi)膽材料：采用SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔去油污及氬焊密封加工(防污染)。
3.6 保溫材料：超細玻璃棉；
3.7排 氣 口：ф50；
3.8加熱方式：無塵加熱器
3.9采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國H.E.P.A Filter 24
