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英國(guó)Thermco公司擴(kuò)散爐、LPCVD、氧化爐、退火爐、合金化爐 產(chǎn)品概述 英國(guó)Thermco Systems公司成立于1962年，是世界上著名的臥式擴(kuò)散爐、氧化爐、退火爐、合金化爐及LPCVD爐的制造商，在全球各處的半導(dǎo)體制造廠里都有大量的安裝應(yīng)用，迄今為止安裝記錄已超過(guò)20000管。 根據(jù)基片尺寸以及產(chǎn)量要求的不同，HTR系列可分為6200，5100/5200，4500/4900，2400/2600等；可處理4¨~10¨的基片，每管處理能力分別可達(dá)25片、50片或100片；根據(jù)配置不同的工藝氣源及溫度控制范圍，各型號(hào)的產(chǎn)品均可用于LPCVD、擴(kuò)散及氧化等熱處理反應(yīng)工藝。 產(chǎn)品應(yīng)用 標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝 ?LPCVD氮化硅（標(biāo)準(zhǔn)型) ?LPCVD氮化硅（低應(yīng)力型） ?LPCVD斜坡溫度多晶硅 ?LPCVD一致晶粒多晶硅 ?LPCVD氧化層TEOS（正硅酸乙脂） ?LPCVD VLTO（低溫氧化） ?LPCVD BPSG（硼磷硅玻璃） ? 高溫氧化 ? 干法氧化 ? 濕法氧化 ? 摻雜擴(kuò)散 （3-4路液相摻雜管路 ( POCL3 or BBR3)） ? 5-6路TCA或Hcl氣路 ? 混合氣體退火 ? 高溫?zé)峄鼗?? 低溫退火和合金化 ? 高溫驅(qū)入（Drive in） 標(biāo)準(zhǔn)LED工藝 ?高真空退火（環(huán)境可控） ?低溫合金化/退火 標(biāo)準(zhǔn)PV（太陽(yáng)能）工藝 ?濕氧/干氧 ?PN結(jié)驅(qū)入 ?Forming氣體退火 ?氫氣退火 ?低溫?zé)崽幚??POCl3，BBr3 PN結(jié)和槽 ?反射氮化膜（ARC Nitride coating） 標(biāo)準(zhǔn)MEMS（微機(jī)電）工藝 ?低應(yīng)力CVD氮化物 ?氧氮化物SIPOS ?厚氧 ?TEOS，良好的臺(tái)階覆蓋能力 ?多晶硅和摻雜多晶硅
