10(十)級潔凈室裝修工程技術是高技術產業(yè)化示范工程項目的科技攻關產業(yè)化成果,主要用于6英寸以上晶片大規(guī)模集成電路科研和生產實現(xiàn)高潔凈等級工藝環(huán)境。10(十)級潔凈室設計施工特點:滿足6~8英寸硅片亞微米級大規(guī)模集成電路科研和生產的高潔凈等級工藝環(huán)境達到ISO14644-1及USA Fed std209E國際標準要求,送入0.1微米10級潔凈室上方靜壓箱的空氣經過三級過濾的預處理,降低了顆粒濃度,潔凈度0.1微米10級的實現(xiàn)。采用低噪音風機組實現(xiàn)靜壓和低噪音,溫度控制實現(xiàn)22℃±0.5℃,濕度控制實現(xiàn)45%±5%。10級潔凈室設計施工技術指標:1. 凈化級別:0.1微米 10級2. 室內靜壓:≥5Pa(≥0.5mmH2O)3. 潔凈室氣流:層流4. 室內噪聲:≤65db(A)5. 室內溫度:22℃±0.5℃6. 室內濕度:45%±5%7. 室內照明:350Lx~800Lx
10級潔凈室施工_FFU龍骨吊裝