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特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品量鍍膜。
樣品室： 直徑120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75“)
靶材： Au 靶為標配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （選件）;直徑57mm x 0.1mm厚
樣品臺： 可以裝載12個SEM樣品座，高度可調范圍為50mm
濺射控制：微處理器控制，安全互鎖，可調，較大電流40mA，程序化數(shù)字控制
濺射頭： 低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護罩
模擬計量：真空： Atm - 0.001mbar
厚度監(jiān)控：使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動終止濺射過程，
或使MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）手動終止濺射過程(選件)
控制方法：自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停”控制的
數(shù)字定時器（0－300s），自動放氣
桌上系統(tǒng)：真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統(tǒng)
技術參數(shù)
樣品室大小 直徑120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75“)
靶材 Au 靶為標配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （選件）;直徑57mm x 0.1mm厚
樣品臺 可以裝載12個SEM樣品座，高度可調范圍為50mm
濺射控制 微處理器控制，安全互鎖，可調，較大電流40mA，程序化數(shù)字控制
濺射頭 低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護罩
模擬計量 真空： Atm - 0.001mbar
厚度監(jiān)控
(選件) 使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動終止濺射過程，
或使MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）手動終止濺射過程
控制方法 自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停”控制的數(shù)字定時器（0－300s），自動放氣
桌上系統(tǒng) 真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統(tǒng)
