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隨著大規(guī)模集成電路的發(fā)展，從無塵室中清除酸堿性氣體或顆粒等氣體污染物就成為一個(gè)很重要的課題。
在一個(gè)64-Mbit的集成電路處理中，設(shè)計(jì)要求微粒直徑為0.25mm甚至更小。
在這里用到了化學(xué)增強(qiáng)光學(xué)電阻，而這種電阻產(chǎn)生的揮發(fā)堿顆粒，如氨質(zhì)子等，會(huì)導(dǎo)致零件的失效。
于是，為了正常生產(chǎn)就需要將堿性顆粒的濃度保持在1mg/m3以下。
該系統(tǒng)為了能夠高敏感度測量酸堿氣體使用了擴(kuò)散吸取式采樣器。
該擴(kuò)散吸取式采樣器吸收液體中的酸堿氣體后，再將其用離子色譜進(jìn)行分析。
還有多通道型(16點(diǎn))選配件供選擇。
兩種型號:CM501，主要測量堿性氣體;CM502，主要測量酸性氣體(氧化物、磷酸、SO2等)。
