衍射光學(xué)元件（Diffractive Optical Elements) 簡(jiǎn)稱(chēng) DOE， 又稱(chēng)二元光學(xué)器件，主要用于激光束整形，比如均勻化、準(zhǔn)直、聚焦、形成特定圖案等。 法國(guó)SIIOS公司提供客戶定制的衍射光學(xué)元件DOE，適用于對(duì)Nd:YAG、CO2、飛秒激光器、半導(dǎo)體激光器等各種激光器進(jìn)行光束整形。根據(jù)不同的應(yīng)用需求，衍射光學(xué)元件DOE可以作為全息片或菲涅耳波帶片。 其主要產(chǎn)品包括： - Beam splitter(or fan-out): used to split a single input laser beam in several output laser beams according to a defined diffraction pattern (spot array, dot matrix). - Beam shaper: used to shape a gaussian laser beam in a Top Hat, circular or cylindrical profile according to given intensity and plane. - Pattern generator(or diffuser): used to generate patterns such as logo, squares, lines, circles according application needs. -Diffractive lenses: used to correct chromatic aberrations 主要應(yīng)用包括激光光束整形（如激光加工、醫(yī)療、成像系統(tǒng)、傳感器，圓形或方形平頂光束整形，矩陣、柵格、線形、圓形圖案整形）和用作天文學(xué)中的相位器件。典型應(yīng)用描述如下： 1. 在科研中應(yīng)用： * 摻鈦藍(lán)寶石的泵浦光整形：衍射光學(xué)器件(DOE)將泵浦光YAG激光、倍頻光束變成均勻的平頂光束，以免損壞摻鈦藍(lán)寶石晶體。 * 腔內(nèi)激光束整形：衍射光學(xué)器件(DOE)作為腔內(nèi)相位鏡將前放光束整形為均勻方形光束（*I*兆焦耳激光工程中已經(jīng)使用）。 * 飛秒激光束整形：摻鈦藍(lán)寶石飛秒激光光束整形以優(yōu)化非線性效應(yīng)。 2. 在醫(yī)療中應(yīng)用： * 對(duì)去皺紋的Er: G*ass激光束整形：衍射光學(xué)器件(DOE)將光束分成多個(gè)均勻光點(diǎn)進(jìn)行治療。 * 對(duì)治療血管損傷的KTP激光束整形：衍射光學(xué)器件(DOE)使光束在治療區(qū)均勻掃描。 * 對(duì)治療眼角膜的準(zhǔn)分子激光束整形：衍射光學(xué)器件(DOE)將光束變成完美的高斯光束以極高的治療精度。 3. 在激光加工中應(yīng)用： * 焊接：衍射光學(xué)器件(DOE)將CO2激光光束變成圓環(huán)形均勻光束以便將能量分布在兩個(gè)焊接器件上。 * 切割：衍射光學(xué)器件(DOE)將Nd:YAG或CO2光束變成完美的高斯光束以極高的切割精度。 * 熱處理：衍射光學(xué)器件(DOE)將Nd:YAG,CO2或準(zhǔn)分子光束變成均勻分布的平頂光束以便均勻加工。 * 打標(biāo)：衍射光學(xué)器件(DOE)將Nd:YAG或準(zhǔn)分子光束變成均勻分布的平頂光束以便控制標(biāo)記深度與寬度。 4. 在天文學(xué)中應(yīng)用： * 大氣擾動(dòng)模擬相位片：二維編碼相位圖模擬大氣擾動(dòng)的空間分布。 * 多個(gè)望遠(yuǎn)鏡鏡片相位調(diào)整：相位傳感器與模擬器以便準(zhǔn)直多個(gè)大型望遠(yuǎn)鏡鏡片。 * 行星探測(cè)：日冕觀測(cè)儀掩膜以減弱恒星高亮度光來(lái)觀察鄰近的行星。 * 成像系統(tǒng)的像差矯正相位片：菲涅耳衍射透鏡矯正天文成像儀的像差。 產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)： * 基片: 直徑：可達(dá)100mm * 厚度：0.5mm—9.5mm * 材料：熔融石英，BK7，… * 鍍膜：AR增透膜（板片）或Rmax鍍膜（鏡片） * 編碼相位圖數(shù)據(jù)：客戶提供相位圖數(shù)據(jù) * 像素尺寸：可達(dá)1 X 1μm2 * 編碼相位圖：多階（2，4，8或16階） * 波前PTV：0--2π