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新型3D測(cè)量顯微鏡：
產(chǎn)品介紹：東莞市歐準(zhǔn)特儀器有限公司
3D測(cè)量顯微鏡，是同時(shí)具有高精度線性測(cè)量和觀察功能的多功能檢測(cè)儀器，廣泛用于LED照明，半導(dǎo)體，顯示屏，微電子器件等產(chǎn)品進(jìn)行詳細(xì)檢測(cè)，主體機(jī)構(gòu)通過(guò)搭配不同的鏡筒、照明裝置、升降機(jī)構(gòu)、物鏡及對(duì)焦機(jī)構(gòu)的選擇，組成多款不同系列的機(jī)型，完全按測(cè)量要求訂購(gòu)設(shè)備。東莞市歐準(zhǔn)特儀器有限公司
模塊化設(shè)計(jì)，兩款經(jīng)典機(jī)身供選擇隨心所欲加裝不同鏡
頭組及照明系統(tǒng)；擁有優(yōu)越的光學(xué)性能和超高測(cè)量精度，搭配主體的操作平衡性，讓之前不可見(jiàn)的幾乎不可見(jiàn)的物件可觀察，可測(cè)量：
次微米精度，出色的多功能性，更適合高性能零件，電子組件的三維測(cè)量；
可輕易測(cè)量易碎工件儀具有極小細(xì)節(jié)的工件；
視場(chǎng)廣闊，可得清晰正像，可選配多種CCD攝像機(jī)輸出圖像檢測(cè)；
照明裝置（反射，投射），可選用高亮度LED的照明或鹵素照明；
快速釋放裝置便于測(cè)量大工件或多個(gè)數(shù)量工件時(shí)快速移動(dòng)工作臺(tái)，Z軸兩側(cè)均同軸粗/微調(diào)手輪，確保能以最快速度實(shí)現(xiàn)高精度對(duì)焦。
技術(shù)參數(shù)：東莞市歐準(zhǔn)特儀器有限公司
產(chǎn)品型號(hào) | 0ZT-1510T | OZT-2010T | 0ZT-300/400/500非標(biāo)定制 |
測(cè)量范圍mm | 150*100 | 200*100 | 按要求定制 各種測(cè)量范圍的機(jī)型 Z軸電動(dòng)或Z軸測(cè)量 CNC大行程機(jī)型定制等 |
玻璃臺(tái)面尺寸mm | 160*60 | 260*160 | |
工作臺(tái)面尺寸mm | 260*160 | 360*260 | |
外形尺寸L*H*Wmm | 480*750*720 | 580*750*720 | |
機(jī)器重量KG | 30 | 70 | |
鏡筒/圖像 | 可選擇單目或雙目鏡筒，帶有標(biāo)準(zhǔn)的TV攝像機(jī)端口，圖像：正像/反像 | ||
測(cè)量方法 | 明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光或微分干涉對(duì)比觀測(cè);輔助對(duì)焦系統(tǒng)： | ||
目鏡 | 10X(視場(chǎng)直徑：25mm或22mm),可選十字分板割 | ||
物鏡 | 95mm:2x.5x.10x.20x.50x(100選配)或60mm：5x,10x,20x,50x,100x | ||
明視場(chǎng) | 所有Plan FLUOR EPI/Plan FLUOR EPI SL系列鏡頭 | ||
暗視場(chǎng) | 所有Plan FLUOR EPI-BD系列鏡頭 | ||
調(diào)焦系統(tǒng) | 粗微調(diào)同軸，左右手柄（粗調(diào)：40mm/圈、微調(diào)：0.02mm/圈） | ||
照明裝置 | 投射：白色LED照明，無(wú)極亮度可調(diào)；反射：內(nèi)置孔徑光闌、無(wú)極亮度可調(diào)、5W LED光源 | ||
數(shù)字計(jì)數(shù)器 | 0.001mm/0.0005/0.0001mm(可選配) | ||
測(cè)量精度(μm) | X-Y≤（2.5+0.02L）μm L為被測(cè)長(zhǎng)度（單位：mm） | ||
