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ENERGETIQ激光驅(qū)動(dòng)寬帶光源
ENERGETIQ光源是一款高亮度、高穩(wěn)定、長(zhǎng)壽命的寬譜光源，其采用革命性的光源技術(shù)—— LDLS ?激光驅(qū)動(dòng)光源技術(shù)，利用連續(xù)激光直接加熱氙離子至需要的溫度，以產(chǎn)生高效的寬頻譜光。該產(chǎn)品具有很寬的光譜范圍，譜線包括軟 X 射線（SXR），遠(yuǎn)紫外線（EUV）, 深紫外線（DUV）, 并覆蓋從可見(jiàn)光到紅外光區(qū)（IR），波長(zhǎng)范圍從170nm到2100nm以上。無(wú)電極的LDLS技術(shù)可以產(chǎn)生小體積高亮度的等離子體，實(shí)現(xiàn)高效的集光和從深紫外到可見(jiàn)光甚至更長(zhǎng)波段的寬光譜，并且延長(zhǎng)了燈的使用壽命。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
連續(xù)激光等離子體放電
極高亮度，波長(zhǎng)完全覆蓋從170nm 到所有可見(jiàn)光及以上的波長(zhǎng)
解決了對(duì)燈需求的多樣性（可代替氘燈，鎢燈，氙弧光燈），簡(jiǎn)化光學(xué)系統(tǒng)
極好的空間穩(wěn)定性，可重復(fù)測(cè)量
可在極短時(shí)間，或很長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)有穩(wěn)定的能量輸出，可重復(fù)測(cè)量
長(zhǎng)壽命，無(wú)電極工作，降低消耗成本，減少光路校準(zhǔn)量
性能參數(shù)：
| 產(chǎn)品型號(hào) | EQ-99X | EQ-99XFC | EQ-9 | EQ-77 | EQ-400 |
| 光譜范圍 | 170-2100nm | 190-2100nm | 170-2100nm | 170-2100nm | 170-2100nm |
| 輸出功率 | 0.5W | 80mW | 0.5W | 2W | 15W |
| 數(shù)值孔徑 | 0.47NA | 0.22NA | 0.56NA | 0.5NA | 0.5NA |
| 光源壽命 | >9000小時(shí) | ||||
| 同步輸出 | 自由空間 | SMA連接器，光纖耦合輸出 | 靈活光學(xué)界面自由空間或光纖耦合 | 靈活光學(xué)界面自由空間或光纖耦合 | 靈活光學(xué)界面自由空間或光纖耦合 |
| 光源重量 | 0.7kg | 0.7kg | 0.91kg | 2.2kg | 2.7kg |
| 光源尺寸 | 82×86×76mm | 82×86×76mm | 109×120×43mm | 128×175×102mm | 136×145×56mm |
| 應(yīng)用 | 紫外- 可見(jiàn)光光譜定法，光纖測(cè)試，高性能光譜學(xué)，高端成像，高性能液體色（HPLC），顯微鏡照明，環(huán)境分析和監(jiān)測(cè)，材料表征和測(cè)試，氣相測(cè)量，過(guò)程質(zhì)量監(jiān)測(cè)，長(zhǎng)壽命燈的應(yīng)用需求 | ||||
制造商：
Energetiq是一家先進(jìn)光源的開(kāi)發(fā)商和制造商，能夠制造和分析納米尺度的結(jié)構(gòu)和產(chǎn)品。Energetiq的光源產(chǎn)品應(yīng)用于分析儀器等、生命科學(xué)和前沿半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域，其光源產(chǎn)品基于專(zhuān)利技術(shù)產(chǎn)生高亮度、從1到1000nm以上、可靠性高、工作壽命長(zhǎng)且結(jié)構(gòu)緊湊。
應(yīng)用：Energetiq的光源應(yīng)用于:分析光譜學(xué)、顯微學(xué)、生命科學(xué)、半導(dǎo)體制造光刻、計(jì)量、軟X射線顯微術(shù)、同步輻射和傳統(tǒng)弧光燈的廣泛應(yīng)用。
團(tuán)隊(duì)：Energetiq公司成立于2004年3月，由一支經(jīng)驗(yàn)豐富的高科技開(kāi)發(fā)團(tuán)隊(duì)所組成。他們對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備制造、半導(dǎo)體晶圓制造、生命科學(xué)產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究團(tuán)體所用的高性能光源所需的大功率等離子體物理有著非常深刻的理解。團(tuán)隊(duì)的專(zhuān)業(yè)知識(shí)和仿佛經(jīng)驗(yàn)使Energetiq能夠提供高性能和高可靠性的產(chǎn)品。
