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白光干涉儀
產(chǎn)品用途
結合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結合顯微鏡與干涉儀，不需要復雜光路調整程序，兼顧體積小、納米分辨力、易學易用等優(yōu)點，可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。
產(chǎn)品特點
1.奈米深度3D檢測
2.高速/無接觸量測
3.表面形狀/粗糙度分析
4.非透明/透明材質皆適用
5.非電子束/非雷射的安全量測
6.低維護成本
7.系統(tǒng)硬件搭配lmgscan前處理軟件自動解析白光干涉儀條紋
8.垂直高度可達0.1mm
9.高速的分析算法，讓您不再苦候測量結果
10.垂直掃描范圍的設定輕松以容易
11.有10X、20X、50X、倍率的物鏡可供選擇
12.平臺X、Y、Z、位置數(shù)字式顯示，使檢測目標尋找快速又便利
13.具有手動/自動光強度調整功能以取得的干涉條紋對比
14.具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇
15.具有專利的解析算法可處理半透明物體的3D形貌
16.具有自動補點功能
17.可自行設定掃描方向
產(chǎn)品參數(shù)
1.產(chǎn)品型號：AE-100M
2.移動臺（mm）：平臺尺寸100*100 行程13*13
3.物鏡倍率：10倍
4.觀察與測量范圍（mm）：0.43*0.32
5.光學分辨率（um）：0.92
6.收光角度（Degrees）：7.4
7.傳感器分辨率：640*480像素
8.Z軸移動范圍(mm）：45 手動細調
9.Z軸位置數(shù)字顯示器：分辨率1um
10.傾斜調整平臺：雙軸/手動調整
11.高度測量范圍（um）：100
12.量測分辨率（nm）：0.1
13.測量控制：自動
14.掃描速度（um/s）：12（較高）
15.光源：鹵素冷光源
16.光強度調整：自動/手動
以上參數(shù)僅供參考，如需要詳細了解請聯(lián)系客服，以便為您提供更的資料以及測量服務
