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半導(dǎo)體老化篩選設(shè)備
不僅做動(dòng)態(tài)老化，還具備DUT（受測(cè)器件：Device Under Test）的輸出信號(hào)監(jiān)視功能。用這個(gè)功能對(duì)DUT的動(dòng)作進(jìn)行監(jiān)視，防止篩選漏網(wǎng)，主要試驗(yàn)對(duì)象為SDRAM，SRAM等內(nèi)存類(lèi)，CPU，ASIC，系統(tǒng)LSI等邏輯裝置，也對(duì)應(yīng)各種MOS形的IC。
一種半導(dǎo)體老化篩選設(shè)備和基于該設(shè)備的老化篩選方法，在設(shè)備的控制待測(cè)器件發(fā)光的功率控制電路中采用數(shù)字電位器，并通過(guò)單片機(jī)對(duì)數(shù)字電位器的自動(dòng)調(diào)控，然后將結(jié)果輸入單片機(jī)和計(jì)算機(jī)，實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體老化篩選過(guò)程的自動(dòng)化，為工業(yè)化大批量生產(chǎn)后的篩選分級(jí)提供了基礎(chǔ)。
在老化期間,IC是在較高電氣條件下和125℃的典型溫度下經(jīng)過(guò)48/96/160或240小時(shí)等的試驗(yàn),在老化期間，試驗(yàn)時(shí)限視失效機(jī)理而定.這里介紹3種老化方法：老穩(wěn)態(tài)老化（SSBI）、靜態(tài)老化（SBI）、動(dòng)態(tài)老化（DBI）。由于SSBI和DBI對(duì)于復(fù)雜器件來(lái)說(shuō)是無(wú)效的，因?yàn)橥獠科珘汉拓?fù)載不可能給內(nèi)部施加足夠的壓力。DBI 可把有源信號(hào)施加到IC上，然后擴(kuò)展到內(nèi)部節(jié)上，所以大規(guī)模IC通常使用動(dòng)態(tài)老化 DBI 。
按產(chǎn)品的級(jí)別，老化亦可分為3類(lèi)：封裝級(jí)老化（PLBI）、芯片級(jí)老化（DLBI）和晶圓級(jí)老化（WLBI）。晶圓級(jí)老化的主要好處是終產(chǎn)品的性，當(dāng)在普通老化中失效的不見(jiàn)必須報(bào)廢或廢棄時(shí)，在它們已經(jīng)通過(guò)許多過(guò)程步驟之后，全部產(chǎn)品費(fèi)用就可能增加，因此可能有效降低成本。WLBI 的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是高成品率和缺陷數(shù)據(jù)能快速反饋。這樣就使生產(chǎn)過(guò)程能更主動(dòng)地排除故障。帕特公司同時(shí)提供晶圓級(jí)老化設(shè)備，歡迎垂詢(xún)。
