術(shù)參數(shù)X 軸 　測量范圍: 100mm 或 200mm 　分辨率: 0.05µm 　檢測方法: 線性編碼器 　驅(qū)動速度: 0 - 80mm/s 　測量速度: 0.02 - 5mm/s 　 移動方向: 向后 　直線度: (0.05+1L/1000)µm* (0.5µm/200mm: 測量范圍為200mm的型號) 　傾角范圍: ±45º Z2 軸 (立柱) 　垂直移動: 300mm 或 500mm、動力驅(qū)動 　分辨率: 1µm 　檢測方法: ABSOLUTE 線性編碼器 　驅(qū)動速度: 0 - 20mm/s 檢測器 　范圍／分辨率: 800µm / 0.01µm, 80µm / 0.001µm, 8µm / 0.0001µm (使用測頭選件 時，最大可達(dá)2400µm) 　檢測方法: 無軌／有軌測量 　測力: 4mN 或 0.75mN (低測力型) 　測針針尖: 金剛石、90º / 5µmR (60º / 2µmR: 低測力型) 　導(dǎo)頭曲率半徑: 40mm 　檢測方法: 差動電感式 基座尺寸 (W x H): 600 x 450mm 或 1000 x 450mm 基座材料: 花崗巖 尺寸 (W x D x H): 756 x 482 x 966mm (S4 型) 756 x 482 x 1166mm (H4 型) 1156 x 482 x 1176mm (W4 型) 766 x 482 x 966mm (S8 型) 766 x 482 x 1166mm (H8 型) 1166 x 482 x 1176mm (W8 型) 重量 140kg (S4, S8 型) 150kg (H4, H8 型) 220kg (W4, W8 型) *L 為驅(qū)動長度 (mm) 評估能力: SURFPAK-SV 評估輪廓 　P (主輪廓), R (表面粗糙度輪廓), WC, WCA, WE, WEA, 　　 　DIN4776 輪廓、包絡(luò)殘余線、粗糙度 motif、波形 motif 評估參數(shù) 　Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi, 　Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr, δc, plateau ratio, 　mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Δa, Δq, λa, λq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1, 　A2 　粗糙度 motif 參數(shù): Rx, R, AR, SR, SAR, NR, NCRX, CPM 　波形 motif 參數(shù): Wte, Wx, W, AW SW, SAW, NW 分析圖表 　ADC, BAC1, BAC2、功率譜圖、自相關(guān)圖、Walsh 功率 譜圖、Walsh 自相關(guān)圖、 傾斜分布圖、局部峰值分布圖、 參數(shù)分布圖 濾波類型 2CR-75%, 2CR-50%, 2CR-75% (相位校正), 　2CR-50% (相位校正), 高斯-50% 截止波長* 　λc: 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm 　fl: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm 　fh: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm 取樣長度 (L)* 　0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm 取樣長度 　傾斜補償、R 平面 (曲面) 補償、橢圓補償、拋物線補償、 　雙曲線補償、二次曲線自動補償、 多項式補償、 　多項式自動補償 * 可在0.025mm 至最大移動長度間指定任意長度。