東莞市莞鑫工業(yè)設(shè)備制造有限公司超高真空擴(kuò)散泵油極限真空測(cè)試條件的探討
　　1、探討了274、275超高真空擴(kuò)散泵油極限真空測(cè)試過程中，除氣、循環(huán)冷卻水溫度、冷阱及環(huán)境
溫度等因素對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響。結(jié)果表明，冷阱對(duì)測(cè)試結(jié)果影響不大，除氣、循環(huán)冷卻水溫度及環(huán)境溫
度對(duì)測(cè)試結(jié)果影響極大，必須徹底除氣同時(shí)將溫度控制在10~25℃，才能準(zhǔn)確測(cè)試出極限真空度。
　　2、真空技術(shù)在許多工業(yè)部門及技術(shù)中得到了廣泛的應(yīng)用。真空測(cè)量技術(shù)在工業(yè)生產(chǎn)及科技領(lǐng)
域中具有極其重要的意義。真空測(cè)試系統(tǒng)由擴(kuò)散泵及真空測(cè)量?jī)x表組成。擴(kuò)散泵主要有金屬轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵
、金屬擴(kuò)散真空泵和玻璃擴(kuò)散真空泵3種；超高真空測(cè)量?jī)x表有B-A式電離真空計(jì)、冷陰極磁控式電離真
空計(jì)、場(chǎng)放顯微鏡3種。本實(shí)驗(yàn)采用了玻璃擴(kuò)散真空泵和B-A式電離真空計(jì)的真空測(cè)試系統(tǒng)。由于測(cè)試極
限真空的過程復(fù)雜，控制參數(shù)較多，使得影響測(cè)試結(jié)果的因素較多，樣品的極限真空重復(fù)性差，誤差可
達(dá)2個(gè)數(shù)量級(jí)；因此，探討影響極限真空測(cè)試結(jié)果的因素，提高測(cè)試數(shù)據(jù)的相對(duì)穩(wěn)定性，對(duì)準(zhǔn)確測(cè)定274
、275超高真空擴(kuò)散泵油極限真空尤為重要。
　　3、在用前級(jí)泵不斷抽空時(shí)，油在泵底被電爐加熱，形成蒸汽流，沿中央管筒上升，在噴口處受噴
口蓋阻擋以極高的速度從噴口噴出；這時(shí)油分子由于溫度很高且噴口截面積陡然變小而受到壓縮，因此
流動(dòng)速度加快。如果油蒸汽在噴口附近和空氣分子相碰撞，大部分的空氣分子會(huì)擴(kuò)散、混合到油蒸汽流
中；油蒸汽被溫度低得多(用水冷卻)的泵壁冷卻，重新凝結(jié)成液體再次流入泵底，而氣體分子不會(huì)凝結(jié)
，在泵的下端被前級(jí)泵連續(xù)抽除，使系統(tǒng)達(dá)到高真空。
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