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ASC4000系列勻膠機在上一代ASC勻膠機基礎(chǔ)進行了新的設(shè)計，廣泛應(yīng)用于晶片，光學(xué)和平板顯示基片的旋涂工藝，其良好的勻膠性和高速平穩(wěn)的速度使得勻膠厚度從厚至薄都始終保持高度均勻。配置閉環(huán)式高性能無碳刷直流電機的ASC系列勻膠系統(tǒng)提供精度為±1rpm的旋涂勻膠速度，可以滿足高校，國家實驗室及研發(fā)中心的相關(guān)應(yīng)用；ASC系列勻膠機具有準確性，可重復(fù)性和穩(wěn)定性，能提供最好的旋涂或勻膠性能。
設(shè)備 | ASC - 4100 |
基片尺寸 | Pieces ~max Ø 4" ?80mm |
勻膠速度 | 80 ~ 6000 rpm |
旋涂加速度 | ~ 10,000rpm/sec , max < 5% |
旋涂馬達 | BLDC Spin Motor (Hollowness axis) |
旋涂腔體 | Ø 230 HDPP Bottom & cover |
顯示 | 7英寸LCD 觸控顯示屏 |
程序 | PLC, 20 Recipes / 10 Steps |
真空泵 | 無油真空泵 |
電源 | 220VAC/110VAC,5A |
設(shè)備 | ASC - 4200 | ASC - 4200A |
基片尺寸 | Pieces ~max Ø 6" ?100mm | Pieces ~max Ø 8" ?150mm |
勻膠速度 | 80 ~ 6000 rpm | 0~ 6000rpm |
旋涂加速度 | ~ 10,000rpm/sec , max < 5% | ~ 10,000rpm/sec , max < 5% |
旋涂馬達 | BLDC Spin Motor (Hollowness axis) | AC Servo 250w Spin Motor |
旋涂腔體 | Ø 230 HDPP Bottom & cover | Ø 330 HDPP Bottom & Top cup |
顯示 | 7英寸LCD 觸控顯示屏 | 7英寸LCD 觸控顯示屏 |
程序 | PLC, 20 Recipes / 10 Steps | |
真空泵 | Oil-less Vacuum Pump | |
電源 | 220VAC,5A | |
