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當(dāng)今先進(jìn)濺射工藝要求高速、高精度、可控、高可靠性優(yōu)質(zhì)電弧控制，MKS Optima® OPT系列直流等離子電源是MKS新一代高性能等離子直流電源，可用于集成電路、存儲(chǔ)媒介、平板顯示器、太陽能電池和高端薄膜涂層制造工藝。
- Optima® 系列直流電源,其功率為5、10、20、30、40、60和80千瓦。
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