S-50藍(lán)寶石拋光液
又稱:二氧化硅拋光液、藍(lán)寶石襯底拋光液、光學(xué)晶體拋光液等
(可有效替代日本、美國(guó)拋光產(chǎn)品,在拋光速率、表面粗糙度方面可達(dá)到同質(zhì)化程度!)
一、產(chǎn)品介紹
由Cavo Special Lubricants加孚公司自主研制的S-50藍(lán)寶石襯底材料拋光液是解決藍(lán)寶石襯底材料拋光過(guò)程中
存在的襯底片表面去除速率低、粗糙度高、易劃傷、易蹋邊等問(wèn)題,而開發(fā)的一款化學(xué)機(jī)械拋光液具有化學(xué)作
用強(qiáng)、去除速率快,表面粗糙度低、無(wú)劃傷,且成本低的藍(lán)寶石襯底材料拋光液。
本產(chǎn)品中各組分的作用分別為:納米SiO2溶膠作為拋光液磨料,其粒徑?。?/span>30~50nm)、濃度高(>30%)
、硬度小(對(duì)基片損傷度?。⒎稚⒍群?,能夠達(dá)到高速率高平整低損傷拋光、污染小,解決了Al2O3磨料硬度
大易劃傷、易沉淀等諸多弊端;該堿性拋光液對(duì)PH有很好的緩沖作用,產(chǎn)物易溶于水,使反應(yīng)產(chǎn)物在小的機(jī)械
作用下即可脫離加工表面,同時(shí)還能很好地去除金屬離子。
該產(chǎn)品能夠快速的待加工材料進(jìn)行反應(yīng),起到增強(qiáng)化學(xué)作用的目的,能降低表面張力,提高凹凸選擇性,又能起到滲透和潤(rùn)滑作用,從而有效的提高了交換速率,增強(qiáng)了輸運(yùn)過(guò)程,達(dá)到高平整高光潔表面。
二、S-50系類藍(lán)寶石材料拋光液技術(shù)指標(biāo)及使用說(shuō)明
技術(shù)指標(biāo)
| 項(xiàng) 目(Item) | 規(guī) 格(Specifications) | ||||
磨 料 (Material) | SIO2 | |||||
粒 徑(Particle size) | 30-50nm | |||||
粘 度(Viscosity) | >4CP | |||||
稀釋比例(Dilution ratio) | 1:1 或1:3 或1:5 | |||||
PH值(Ph value) | >10.2 | |||||
磨料含量Abrasive content | >30 | |||||
去除速率 MRR | 10-15um/h | |||||
加工后翹曲度 BOW | ≦20μm | |||||
| 加工后表面粗糙度(Surface Roughness) | Ra
|