氦質(zhì)譜檢漏儀電子元器件檢漏
上海伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀電子元器件檢漏應(yīng)用
電子元器件又稱電子元件是各類機(jī)械設(shè)備,儀器儀表的重要組成部分。常見的電子元器件類型包含:電阻、電容器、機(jī)電元件、連接器、半導(dǎo)體器件、光電器件、傳感器、集成電路等等。上海伯東 Pfeiffer氦質(zhì)譜檢漏儀現(xiàn)已大量應(yīng)用于電子元器件生產(chǎn)企業(yè),本文主要介紹電子元器件領(lǐng)域光子型探測器和光探測器的檢漏方法。
電子元器件需要檢漏原因:
光子型探測器(photon detector),是利用外光電效應(yīng)或內(nèi)光電效應(yīng)制成的輻射探測器,也稱光電型探測器。探測器中的電子直接吸收光子的能量,使運動狀態(tài)發(fā)生變化而產(chǎn)生電信號,常用于探測紅外輻射和可見光。光子型探測器屬于真空電子器件,對密封性的要求極高,如果存在泄漏會影響其使用性能,因此需要檢漏。
光通信器件又稱光器件,分為光有源器件和光無源器件。光有源器件是光通信系統(tǒng)中將電信號轉(zhuǎn)換成光信號或?qū)⒐庑盘栟D(zhuǎn)換成電信號的關(guān)鍵器件,是光傳輸系統(tǒng)的心臟;光無源器件是光通信系統(tǒng)中需要消耗一定的能量、具有一定功能而沒有光-電或電-光轉(zhuǎn)換功能的器件,是光傳輸系統(tǒng)的關(guān)節(jié)。行業(yè)規(guī)定光通訊器件漏率合格線 <5.0x10-8atm.cc/s,因此需要氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏
電子元器件檢漏方法
光子型探測器和光探測器的檢漏方法可歸納入電子元件類檢測方法,即“背壓法”。由于電子元件體積小,且無法抽真空或直接充入氦氣,而氦檢漏又離不開氦氣作為示蹤氣體。這時需要通過一種間接的辦法“滲入”氦氣,具體做法如下。
1.將被檢電子元件放入真空保壓罐,壓力和時間根據(jù)漏率大小設(shè)定
2.取出電子元件,使用空氣或氮氣吹掃表面氦氣
3.將電子元件放入真空測試罐,測試罐連接氦質(zhì)譜檢漏儀
4.啟動氦質(zhì)譜檢漏儀,開始檢測
電子元器件檢漏客戶案例
1.江蘇某大型光子型探測器生產(chǎn)廠商,通過伯東采購氦質(zhì)譜檢漏儀ASM 340
2.東莞某光磁股份企業(yè),光通訊器件檢漏,通過伯東采購氦質(zhì)譜檢漏儀ASM 340
上海伯東主營產(chǎn)品:德國普發(fā) Pfeiffer 渦輪分子泵,干式真空泵,羅茨真空泵,旋片真空泵;應(yīng)用于各種真空環(huán)境下的真空計,氦質(zhì)譜檢漏儀,質(zhì)譜分析儀以及美國考夫曼公司 KRI 離子源 離子槍 霍爾源,美國 HVA 真空閥門,Polycold 冷凍機(jī),離子刻蝕機(jī)等。
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