基本參數(shù)
波長(zhǎng)范圍：166～847nm
分辨率＜0.008nm，在200nm處
短時(shí)間穩(wěn)定性：RSD%≤0.5%
長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性：RSD%≤2%
部分元素檢出限：As,189.0nm,6ppb;Ca,317.9nm,5ppb;Mg,285.2nm,2ppb;Cd,226.5nm,0.5ppb;Pb,220.

全譜直讀型臺(tái)式ICP光譜儀參考技術(shù)指標(biāo)
一、儀器類型：全譜直讀型臺(tái)式ICP光譜儀，需配外置冷卻水循環(huán)系統(tǒng)

二、光學(xué)系統(tǒng)：全新豎式光室設(shè)計(jì)，全封閉驅(qū)氣型，采用精密溫控恒溫系統(tǒng)，高能量中階梯光柵石英棱鏡交叉色散內(nèi)光路，波長(zhǎng)和級(jí)次二維色散，所有光學(xué)元件均使用全反射球面鏡，高光通量和低圖像失真。
光柵：采用超高分辨干涉刻制技術(shù)，52.91條/mm，63.5度閃耀角
棱鏡：交叉色散，采用雙通過(guò)設(shè)計(jì)確保成像質(zhì)量，9.5度角，超紫外熔融石英
波長(zhǎng)覆蓋：166~847 nm全波長(zhǎng)覆蓋，Al 167.120 nm測(cè)試可獲得更高紫外靈敏度，對(duì)于K 766.490 nm和Na 818.326 nm長(zhǎng)波同樣性能優(yōu)異
焦距：383 nm，緊湊型光室
分辨率：0.007 nm在200 nm處的光學(xué)分辨率，采用大衍射角高的光譜級(jí)次，在短焦距下可獲得高分辨率
光路：驅(qū)氣型光室，可以是氬氣或者是氮?dú)?，?qū)氣量0~2升/分鐘，典型1升/分鐘即可獲得優(yōu)異的紫外性能，特別對(duì)于As和P的測(cè)定。外光路設(shè)計(jì)，對(duì)于垂直炬可選擇觀測(cè)高度，對(duì)于雙向炬可選擇觀測(cè)方式。
波長(zhǎng)校準(zhǔn)：采用C、N和Ar線自動(dòng)波長(zhǎng)校準(zhǔn)程序，確保長(zhǎng)期波長(zhǎng)穩(wěn)定性
光室恒溫：38 /- 0.1℃精密光室恒溫，恒溫速度小于20分鐘。

三、檢測(cè)器：新一代電荷注入式檢測(cè)器（CID）是高性能的固體成像系統(tǒng)。Thermo的CID是能夠傳輸高反差/低噪音圖像的加強(qiáng)型傳輸器件，它可以對(duì)分析范圍內(nèi)的所有波長(zhǎng)進(jìn)行定性定量，而消除了電荷溢出（Blooming）現(xiàn)象。
檢測(cè)器模式：隨機(jī)讀取積分（RAI）經(jīng)選擇的分析波長(zhǎng)以信噪比的方式同時(shí)積分，這樣光所產(chǎn)生的電荷量可以保持在CID的線性范圍內(nèi)。它是利用了CID所的非破環(huán)性讀?。∟DRO）功能而獲得的。NDRO允許觀測(cè)任意曝光點(diǎn)的任何像素單元上的信號(hào)。在這種方式下，

像數(shù)與像數(shù)之間的讀出頻率隨著發(fā)射強(qiáng)度的實(shí)時(shí)觀測(cè)而各不相同，因而得到寬廣的動(dòng)態(tài)線性范圍。
陣列尺寸：291,600個(gè)獨(dú)立尋址單元，540