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產(chǎn)品推薦
類型
渦輪分子泵
品牌
大阪真空機(jī)器制作所
型號(hào)
超高真空型TG-ML
材質(zhì)
-
日本大阪真空機(jī)器制作所 磁懸浮復(fù)合分子泵超高真空型TG-ML
大幅度減低了振動(dòng)的TG-ML系列
半導(dǎo)體制造已經(jīng)步入到 進(jìn)一步的「微小化」，「高度集成化」。并且，在分析，測(cè)量，檢查工序也要求「高精度化」、「高性能化」。
為了實(shí)現(xiàn)微細(xì)加工以及微細(xì)領(lǐng)域的一些測(cè)量分析等，即使提升控制技術(shù)，設(shè)備有振動(dòng)就無意義了。所以在非常需要減低泵的振動(dòng)。
用途
■ EUV曝光等新一代半導(dǎo)體制造
■ 高精度、高性能的電子顯微鏡，分析裝置，測(cè)量裝置等
TG-ML系列の振動(dòng)特性
把泵體的振動(dòng)值成功的控制在1nm以內(nèi)！ ※本公司的測(cè)定方法
■ 如果安裝專用減振器，還可以再把振動(dòng)值降低一個(gè)數(shù)量級(jí)！
規(guī)格
