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實(shí)驗(yàn)室常用氣體:氦氣、氮?dú)?、氬氣、乙炔、甲烷、丙烷、氫氣、空氣?/span>
1、供氣系統(tǒng)包括氣源集合壓力控制部分、輸氣管線部分、二次調(diào)壓分流部分與儀器連接的終端部分。供氣系統(tǒng)要求具有良好的氣密性、高潔凈度、耐用性和安全。
2、管道、閥件、管件、接頭等,如減壓器、終端壓力調(diào)節(jié)部分、截止閥、焊接接頭等所有部件均為316L不銹鋼材質(zhì),管路采用BA級內(nèi)外拋光。
3、具備確保輸送到儀器的氣體度的控制措施。
4、能滿足實(shí)驗(yàn)儀器對氣體不間斷連續(xù)使用的要求,使用過程中根據(jù)不同實(shí)驗(yàn)儀器工作條件對整體或局部氣體壓力、流量進(jìn)行全量程調(diào)整,達(dá)到不同檢驗(yàn)條件的要求。
5、不銹鋼減壓器的選材要求承受壓力必須大于鋼瓶1大設(shè)計(jì)壓力。
6、為氣密性,除了需要拆卸維護(hù)和與儀器對接的部位采用卡套連接外,其余輸氣管線部分必須全部采用全自動焊接技術(shù)焊接完成。要盡可能減少因接點(diǎn)引起的氣體泄漏,輸氣管路部分轉(zhuǎn)彎處應(yīng)避免或盡可能減少彎頭的使用。
7、氣瓶柜內(nèi)設(shè)置的報(bào)警系統(tǒng)應(yīng)能對室內(nèi)的可燃?xì)怏w及大氣氧含量進(jìn)行實(shí)時檢測,并設(shè)置聯(lián)動機(jī)制。
8、設(shè)置鋼瓶、管線等安全保護(hù)措施。
9、氣源部分由鋼瓶和氣體發(fā)生器供給,確保氣體度,必須具備輸出的穩(wěn)定性和連續(xù)性。
10、不銹鋼減壓器必須具備輸出穩(wěn)定性和連續(xù)性,高壓金屬軟管連接鋼瓶必須氣密性。
11、氣體終端壓力調(diào)節(jié)部分:對主氣路輸送的氣體應(yīng)獨(dú)立控制,進(jìn)氣壓力和出氣壓力顯示,按照不同分析儀器對氣體使用壓力的不同要求進(jìn)行二次調(diào)壓,必須對實(shí)驗(yàn)室分析儀器有穩(wěn)定的供氣氣流,設(shè)置中斷轉(zhuǎn)換方便不同儀器對接。
氣體種類劃分:
(1)易燃性氣體:把自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒,當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時,PH3與B2 H6等氣體也會產(chǎn)生自燃??扇家兹?xì)怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍,即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高,如B 2H6的爆炸上限為98%,爆炸下限為0.9%。屬于易燃?xì)怏w有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。
(2)毒性氣體(Toxic Gas):半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性1大,它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別只有50