技術參數(1) 類型: CCI 干涉(相干相關干涉)
(2) 分辨率: 0.1 A
(3) 測量點數: 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )
更詳細參數和有關應用問題請垂詢辦事處產品負責人。
主要特點?專利的相干相關算法
?0.01nm分辨率
?10-20秒測量時間
?RMS重復性:0.03A
儀器介紹Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI(專利技術的相干相關算法)干涉原理,可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸,并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數據存儲器件,半導體器件,光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。
分析方法1.Noncontact measurement for 3D surface profiling