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產(chǎn)品推薦
加工定制
否
類型
白光干涉儀
品牌
Rational/萬濠
型號
SWIM1510MS
品種
其他干涉儀
測量范圍
100μm【400μm選配】
測量分辨率
0.1nm
近工作距離
7.4/4.7/3.4（mm）
用途
玻璃，晶元，微電子，液晶屏等……
供應(yīng)白光干涉儀，納米深度3D形狀顯微檢測儀,SWIM1510MS
白光干涉儀器SWIM-1510MS
| SWIM1510MS | ||||||
| 產(chǎn)品特點及用途 | ||||||
| 結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點，可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應(yīng)用領(lǐng)域包含 | ||||||
| ● 晶體（Wafer） ● 光盤/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk）） ● 平面電組件（MEMS Components） ● 平面液晶顯示器（LCD） ● 高密度線路印刷電路板（HDI PCB）） ● IC封裝（IC Package）） 以上其它材料分析與組件微表面研究 | ||||||
| 級的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo） | ||||||
| ● 提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析 ● 提供自動表面平整化處理功能 ● 提供高階標準片的軟件自校功能 ● 深度/高度分析功能提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式 ● 線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度 ● （waviness）的測量分析。可提供多達17種的ISO量測參數(shù)與4種額外量測數(shù)據(jù)（Wafer） ● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計分析。 ● 具有平滑化、銳化與數(shù)字過濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換（FFT）處理功能。 ● 量測分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出 | ||||||
| 級的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo） | ||||||
| ● 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光干涉條紋 ● 垂直高度可達0.1nm ● 高度的分析算法則，讓你不在苦候測量結(jié)果 ● 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易 ● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇 ● 平臺XYZ位置數(shù)顯示，使檢標的尋找快速又便利 ● 具有手動/自動光強度調(diào)整功能以取得的干涉條紋對比。 ● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇。 ● 具有專利的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌。 ● 具有自動布補點功能 ● 可自行設(shè)定掃描方向 | ||||||
| 技術(shù)規(guī)格參數(shù) | ||||||
| 型號 | SWIM1510MS | |||||
| 系統(tǒng)配備 | 顯微鏡、掃描控制器、移動平臺、取像單元、個人電腦 | |||||
| 顯微鏡 | 單眼顯微鏡（標準配件） | |||||
| 干涉物鏡（選配） | 放大率 | 10X 20X 50 | ||||
| 視野（ mm） | 0.5 0.25 0.1 | |||||
| 光學(xué)解析度（mm） | 1.12 0.84 0.61 | |||||
| 影像縮放 | 1.0X（標配） 0.5X（選配） | |||||
| 垂直掃描控制器 | 掃描范圍 | 100um 400um | ||||
| 掃描解析度 | 0.1nm | |||||
| 掃描模式 | 自動 | |||||
| 光強度調(diào)整 | 自動/手動 | |||||
| 掃描速度 | 12nm/s | |||||
| 樣品移動平臺 | X、Y平面移動平面 | 150mm*100mm,手動（標準配件） | ||||
| Z軸移動平臺 | 80mm,手動（標準配件） | |||||
| 位置數(shù)位顯示單元 | 三軸光學(xué)尺與三軸數(shù)位顯示器（解析度 1um） | |||||
| 偏移調(diào)整平臺 | 手動 | |||||
| 取像單元 | 影像感測量 | 面型CCD（標準配件） | ||||
| 感測器解析度 | 640*480（標準配件） | |||||
| 電腦配置 | Pentium-Computer ,17
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