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蒸餾水標準：
1 灼燒渣含量 （≤0.01 %）
2錳（Mn）含量 （≤0.00001%）
3鐵（Fe）含量 （≤0.0004 %）
4氯（Cl） （≤0.0005 %）
5 還原高錳酸鉀物質（O）含量 （≤0.0002 %）
6 透明度 （mm） 無色透明
7 電阻率（25℃） （≥10x104 Ωcm）
8硝酸及亞硝酸鹽（以N計） （ ≤0.0003 %）
9 銨（NH4）含量 （≤0.0008 %）
10 堿土金屬氧化物（CaO計） （≤0.005 %）
