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濺射薄膜壓力傳感器
PTG200濺射薄膜壓力傳感器其利用離子束濺射薄膜技術(shù)結(jié)合先進(jìn)的微電子工藝技術(shù)制造而成的不銹鋼彈性膜片。離子束濺射在電阻合金材料上，在膜片上制作了組成惠斯登電橋的合金薄膜應(yīng)變電阻，膜片變形使電阻的幾何尺寸和阻值發(fā)生改變,電橋輸出相應(yīng)電信號(hào)。薄膜應(yīng)變電阻與彈性體“融”為一體,組成全金屬型敏感元件,無(wú)任何粘貼劑和緊固件, 可長(zhǎng)期在-40～125℃工作溫度下穩(wěn)定工作。
應(yīng)用于航空、航天、交通、水利、電力、工程機(jī)械、汽車(chē)制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、醫(yī)療設(shè)備、食品加工等多種自控和測(cè)量行業(yè)。
主要技術(shù)參數(shù)：
被測(cè)介質(zhì)： 氣體,液體及蒸氣
壓力類型： 表壓、絕壓
量程： 0 - 0.6～120 Mpa間任意可選
輸出 ：1.2～1.8 mv/V
綜合精度： ±0.1%FS、±0.25%FS、±0.5%FS
非線性： 0.06～0.1%FS
遲滯： 0.02～0.05%FS
重復(fù)性： 0.03～0.06%FS
零點(diǎn)溫漂： ±0.01%FS/℃
靈敏度溫漂： ±0.02%FS/℃
供電： 5～15V DC
輸出阻抗： 1.5～3KΩ
絕緣電阻： ≥1000 MΩ/100VDC
工作溫度： －40～＋85\125\150℃可選
過(guò)載能力： 150%FS
電氣連接： 高溫引出線
壓力連接： M10×1雙¨O¨圈密封或用戶
接液材料 膜片：17-4PH過(guò)程連接件1Cr18Ni9Ti
相對(duì)濕度： 0～95% RH
密封等級(jí) ：IP65
