EDWARDS　愛(ài)德華EH系列羅茨真空泵

EH/QMB系列

EH250、EH500、EH1200、EH2600、EH4200、QMB250、QMB500、QMB1200、QMB2600、QMB4200

概述：

EH 機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是很受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。

機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度。

防爆型機(jī)械增壓泵可能配備防爆型電機(jī)，或作為防爆型系統(tǒng)的一部分供貨。

應(yīng)用

半導(dǎo)體制程

真空蒸餾

真空包裝

鋼脫氣

薄膜覆層

真空冶金

低密度風(fēng)洞

空間模擬

真空浸漬

油干燥和脫氣

制藥冷凍干燥

CO2 激光

功能和優(yōu)勢(shì)

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過(guò) 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。

它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的性。

EH 泵具有量的無(wú)油泵送機(jī)械裝置。這可提供：

安靜的無(wú)振動(dòng)運(yùn)行。

牢靠且防腐蝕。

先進(jìn)的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染

防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。

經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒(méi)有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門(mén)，因此可將維護(hù)要求降到較低。

軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可確保潤(rùn)滑劑無(wú)法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要較高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。

容積（工作容積）

50Hz 1195 m3h-1/715 ft3min-1

60Hz 1435 m3h-1/845 ft3min-1

使用后備泵時(shí)的有效抽取速度

E2M80 840 m3h-1/495 ft3min-1

E2M175 930 m3h-1/548 ft3min-1

E2M275 1020 m3h-1/601 ft3min-1

泵的壓差 ?

50Hz 0-90 mbar/0-68 Torr

60Hz 0-75 mbar/0-56 Torr

入口連接 ISO160

出口連接 ISO100

轉(zhuǎn)速

50Hz 0-2900 rpm

60Hz 0-3500 rpm

連續(xù)入口操作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr

較高出口壓力 1000 mbar/760 Torr

推薦的后備泵 GXS160，GXS250，E2M80，E2M175

電源供給

50Hz 220-240V/380-415V

60Hz 230V/460V

馬達(dá)功率

碳?xì)浠衔?3kW/4hp

PFPE 3kW/4hp

ATEX 3kW

防爆型 4hp

環(huán)境溫度范圍

操作 5 至 40°C/40 至 104°F

存儲(chǔ) -10 至 80°C/14 至 176°F

較高操作濕度 90% RH

推薦的冷卻水流量（入口溫度 20°C） 120 l h-1/0.53 gal min-1

推薦的冷卻水供應(yīng)壓力* 2-6 bar

冷卻水接頭 3/8 英寸 BSP 陽(yáng)螺紋

推薦用油

標(biāo)準(zhǔn)型 Ultragrade 20

PFPE 版本 Fomblin? YVAC 16/6

油容量

齒輪箱 1.25 升

聯(lián)結(jié)器箱 2.4 升

軸桿封口儲(chǔ)油器 0.125 升

重量 149 kg