AALBORG氣體質(zhì)量流量計(jì) 美國(guó)Aalborg, Aalborg氣體質(zhì)量流量計(jì), Aalborg控制器 美國(guó)Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上著名的氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器的生產(chǎn)廠家，其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學(xué) 、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)域。 產(chǎn)品特點(diǎn)：性?xún)r(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高，易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器 典型應(yīng)用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。 設(shè)計(jì)特點(diǎn)： －剛性金屬結(jié)構(gòu) －流程范圍從0開(kāi)始到10sccm直到0到1000slpm －壓力500psig（34.5Bar） －泄漏率1＊10-7氦氣 －NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明 －可傾斜的LCD讀表 －0-5Vdc或4-20mA信號(hào)輸出 －電路保護(hù) －可用作便攜式的設(shè)備 －0到100％比例顯示 －可配備流量計(jì)算機(jī) 精度：±1.5％滿(mǎn)量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力。可選±1％滿(mǎn)量程（標(biāo)定精度），在給定的溫度與壓力值條件下。 重復(fù)性：±0.5％滿(mǎn)量程 回應(yīng)時(shí)間：實(shí)際流速±2％超過(guò)滿(mǎn)量程25-100％一般2秒 溫度系數(shù)：0.15％滿(mǎn)量程／℃ 壓力系數(shù)：0.01％滿(mǎn)量程／psi（0.07bar） 氣體／周?chē)鷾囟龋?2℉-122℉（5℃-50℃） 輸出信號(hào)：0-5Vdc，最小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻 傳感器輸出：＋12Vdc；200Ω。＋24Vdc可選 時(shí)間恒量：800ms 氣體壓力：1000psig（70bar）?？蛇x20psig（1.4bar） 流體接觸面材質(zhì)：A：GFC鋁系列為陽(yáng)極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠圓環(huán) B：GFC17S，37S，47S，57S，67S，77S不銹鋼系列：316不銹鋼、氟橡膠圓環(huán)可選氯丁橡膠圓環(huán)。 方位靈敏度：水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度；標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)是在水平位置 連接：GFC17和37：1／4"卡套螺紋VCR?或1／8"卡套可選（GFC17） GFC47：3／8"卡套螺紋 GFC57：3／8"卡套螺紋 GFC67：1／2"卡套螺紋 GFC77：3／4"卡套螺紋 VCR?或3／4"卡套可選（GFC77）