S系列為真正意義上的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)探針臺(tái)，讓用戶可完全圍繞實(shí)際應(yīng)用，選擇適合的功能配置，確保成本解決方案的同時(shí)滿足用戶將來的升級(jí)需求。 S系列可定制的模塊為：載物臺(tái)及其移動(dòng)基座模塊、探針座放置平臺(tái)移動(dòng)模塊和顯微鏡及其移動(dòng)基座模塊。用戶可自行配置功能模塊的同時(shí)，還可根據(jù)自身需求增加探針卡夾具、激光器、微腔體屏蔽系統(tǒng)、半自動(dòng)控制系統(tǒng)、全自動(dòng)控制系統(tǒng)、高溫測試系等，滿足更多的應(yīng)用需求。 S系列還為用戶提供了一個(gè)高剛性和穩(wěn)定性的測試系統(tǒng)。載物臺(tái)移動(dòng)基座和探針臺(tái)底座一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，地提高了載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)剛性和穩(wěn)定性。顯微鏡支撐為龍門結(jié)構(gòu)，可應(yīng)用于高放大倍率的光學(xué)系統(tǒng)，光學(xué)系統(tǒng)的穩(wěn)定性。探針座放置平臺(tái)采用高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，平臺(tái)板整體的垂直應(yīng)力形變在5μm/10N以內(nèi)，擁有極高的穩(wěn)定性以滿足高精度探針座的定位要求。 載物臺(tái)(常規(guī)晶圓載物臺(tái)） 尺寸 6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12" 材質(zhì) 不銹鋼 平整度 ≤±2.5μm 真空區(qū)域* 0，2"，4"，6"環(huán)形吸附** 真空控制 手動(dòng)控制，獨(dú)立真空區(qū)域 真空驅(qū)動(dòng)方式 真空泵 載物臺(tái)電性能 載物臺(tái)信號(hào)導(dǎo)通，可選擇接地或接信號(hào) *根據(jù)載物臺(tái)尺寸有所不同，如載物臺(tái)尺寸為12"，則真空吸附區(qū)域?yàn)?，2"，4"，6"，8"，12"。 ** 除環(huán)形吸附外，還可選微孔吸附式載物臺(tái)，以適用于厚度在50μm或以內(nèi)的晶圓。 載物臺(tái)移動(dòng)基座 X-Y軸行程范圍* 6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可選更大行程 精度 1μm R軸粗調(diào)角度范圍 360° R軸細(xì)調(diào)角度范圍 ±9° 微調(diào)精度 0.0001°/deg Z軸細(xì)調(diào)行程范圍 13mm 細(xì)調(diào)精度 1μm Z軸快升行程 0~6mm, 可調(diào) Z軸往復(fù)精度 <1μm 載物臺(tái)快速拖出行程 100mm *根據(jù)載物臺(tái)尺寸不同，行程有所不同，如載物臺(tái)為12"，則X-Y移動(dòng)行程為12"*12"。