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R-14主要用途
R-14作為一款特種超低溫制冷劑，主要應(yīng)用于要求溫度非常低的深冷設(shè)備中（包括科研制冷、醫(yī)用制冷等），R14同時(shí)也是超低溫配合冷媒的重要組分。四氟化碳（四氟甲烷）是目前微電子工業(yè)中用量較大的等離子蝕刻氣體，其氣及四氟甲烷氣配氧氣的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
R-14物化性質(zhì)
冷媒名稱
R-14
分子量
88.0
沸點(diǎn)（1atm），℃
-128
臨界溫度，℃
-45.67
臨界壓力，kPa
3740
飽和蒸氣壓（25℃），kPa
3650（-45.6℃）
汽化熱/蒸發(fā)潛熱（沸點(diǎn)下，1atm），kJ/kg
-
破壞臭氧潛能值（ODP）
0
全球變暖潛能值(GWP，100 yr)
5700
ASHRAE安全級(jí)別
A1（無(wú)毒不可燃）
R-14冷媒包裝
可重復(fù)使用高壓鋼瓶包裝（需回收包裝鋼瓶）：7kg/瓶，32kg/瓶。
