Cryo-Plex 16低溫泵16英寸口徑 成熟的低溫泵設計 - 高容量和高性能 Cryo-Plex16低溫泵是一種高容量低溫泵，具有成熟的雙級冷頭設計（吉福德/麥克馬洪原理）高抽速捕捉水蒸汽和氣體，實現(xiàn)無油，高和超高真空。Cryo-Plex16低溫泵是專為大型真空應用，性，性能和容量是非常重要的。 主要特點與優(yōu)勢 單臺低溫泵解決方案 單獨一臺Cryo-Plex16低溫泵即可滿足容量和性能要求的許多大腔室應用。單臺低溫泵解決方案簡化了安裝和維護，提高工作效率和降低總成本，使Cryo-Plex16成為低溫泵箱涂層系統(tǒng)，空間模擬室和電子束鍍膜系統(tǒng)的解決方案。 工業(yè)標準設計 Cryo-Plex16個法蘭配置符合行業(yè)標準的國際標準化組織（ISO）和CVC規(guī)格，可無縫集成到現(xiàn)有的工藝設施，方便與其他OEM冷泵交換。 靈活的配置 完備的生產(chǎn)線，低溫泵配件支持靈活的配置，以確保性和性能。Cryo-Plex16低溫泵基于行業(yè)標準或定制設計，可以安全地安裝在任何方向。硅二極管或氫蒸汽球（HVB）傳感器在第二階段測量溫度，以幫助控制再生過程中（雙二極管也可用）。 亮點 ?高容量，高性能的設計 ?的高速無油的高和超高真空 ?二十年的歷史，成熟的技術(shù)和的設計 ?行業(yè)標準的兼容性，可無縫集成到現(xiàn)有設施 ?優(yōu)化的監(jiān)視和控制（可選） ?全球銷售和24×7支持 ?美國制造 Cryo-Plex 16 技術(shù)參數(shù) 氣體抽速 (升/) 空氣 5,000 水蒸氣 16,000 氫氣 5,000 氬氣 4,200 氣體容量 – 標準升 氬氣 2,500 torr-liters 氫氣@ 5X10-6 15 torr-liters 吞吐量 氬氣 500 scc / minute 交叉 300 torr-liters 物理規(guī)格 重量 160 lb. (72.7 kg) 整體高度/法蘭標準 23.2 inches (58.9 cm) /CVC 23.1 inches (58.7 cm) / ISO 較大法蘭直徑/標準 18.0 inches (45.7 cm) / CVC 17.7 inches (44.9 cm) / ISO 進氣法蘭尺寸 / 標準 16 inch /CVC NW 400 / ISO 冷卻時間(達到 20 K) 60 Hz 150 minutes 聯(lián)系人： 聶祿君 八六-二一-五六八三零一九二 八六-一八二零一九六八六七一 nielujun小老鼠sunano.com.cn