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1.工作行程: X軸: 600mmY軸:600mm,Z軸:400mm 2.機臺尺寸約1400(長)x1000(寬)x1800(高) mm(含腳架高約2300mm) 3.機臺重量約1200kg(含腳架) 4.機臺精度: 3 L/200mm 8.機構表面處理:多層次塗裝烤漆/鋁合金部份:航太鋁合金製造 9.三軸採用英國RENISHAW0.001mm精密光學尺 10.驅勸方式:空氣軸承 11.三軸直線運動由空氣軸承導引 12.日本PISCO三點組合空氣濾清器 18.英國RENISHAW1mm.2mm.3mm測針各一支 19.重覆精度:0.003mm 20.量測精度E=3.5 (L/200)μm (ISO 10360-2) 21.校正球一個 技術參數(shù)： ˉ采用全花崗石底座、支柱，機械系統(tǒng)的穩(wěn)定性 ˉ行程范圍：X軸------1000mmY軸------1200 mm ˉZ軸------400 mmT軸------360o ˉ傳動方式：高精密滾珠導軌 高精密滾珠絲杠 步進電機 ˉ圖像采集系統(tǒng)：高速圖像采集卡 鏡頭 低照度高分辨率CCD ˉ激光系統(tǒng)：650 nm波長激光，較大功率20 mW，連續(xù)可調 ˉ機械精度：X、Y、Z三軸綜合精度分別≤0.05 mm ˉ機臺重復定位精度≤0.005 mm ˉ機臺：高精度花崗巖平臺，機臺承重
