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UV 解膠機
軟件控制UV照射機UPA型，以PLC精密控制單片晶圓的UV膠膜照射過程，并隨時顯示實際執(zhí)行的各項參數。
直徑達220㎜的照射窗口，可處理8”（200㎜）的標準規(guī)格晶圓。光源可更換更大面積的照射器。
特點：
※ 桌上型設計－安裝簡單。
※ 多功能控制面板－操作方便、穩(wěn)定度高、維修容易，并可完成遠端控制的需求，依需求修改控制模式，更改操作螢幕之字型等。
※ 全程監(jiān)視系統－UV 燈管狀態(tài)
1.采用UV冷光源，代替了傳統的高壓汞燈，經過試驗認證，使用壽命比普通汞燈壽命長數十倍以上，安全性高，熱量小，功耗低
2.一鍵式全自動根據設定完成所有操作，在達到照射時間后會自動關閉，不需要啟動和等待時間。
3.采用觸摸屏作為人機界面，集成操作和錯誤，報警顯示
4.使用于3inch～12inch的wafer，Frame可以定制
功能特點：適用于半導體晶圓切割后的UV解膠工序
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(由於設備不斷改進，本公司對於外型更改，恕不另行通知。)
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依瓦塔（上海）精密光電有限公司
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