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矩形音圈電機在主動隔振系統(tǒng)中的應(yīng)用 因為定向與制導(dǎo)、精密加工與測量、精密儀器儀表等技術(shù)的發(fā)展,對環(huán)境的振動和沖擊提出了越來越嚴格的要求。特別是微電子機械( MS)技術(shù)和納米技術(shù)的飛速發(fā)展,對物體的操作尺度已進入亞微米及納米級別,這樣對環(huán)境和操作平臺的振動控制也就要求達到納米級。 目前國內(nèi)外一般較為成熟的隔振技術(shù)為被動隔振技術(shù)。它通過使用參數(shù)固定的彈簧和阻尼器等元件來完成對被控對象的減振,具有結(jié)構(gòu)簡單,工作,不依賴電源,不消耗附加能量等特點,在車輛減振、車間振動隔離等一般工業(yè)場合有比較理想的應(yīng)用效果。但它對于隔離低頻和超低頻振動效果不理想;另外由于其特征值為定值,響應(yīng)時間比較長,又缺乏靈活的控制算法,所以被動隔振技術(shù)已經(jīng)越來越不適應(yīng)高精度、快響應(yīng)的振動控制要求。 因此,主動隔振技術(shù)由于采取矩形音圈電機對振動系統(tǒng)實行閉環(huán)校正,在復(fù)合激勵環(huán)境下具有較強的抗干擾能力,因而具有理想的隔振效果,已廣泛應(yīng)用于精密制造、測試與裝配的高精度的隔振平臺中。而音圈電機恰恰是滿足主動隔振系統(tǒng)的隔振要求。所有音圈電機在精密的主動隔振應(yīng)用非常廣泛。