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整機規(guī)格：1320（W）*1020（D）*1720（H）
電源頻率：13.56MHz，100W-600W，全自動阻抗匹配
腔體結構：400*400*400，美鋁腔體，鋁電極：400mm*360mm，6層（可增加）
控制系統(tǒng)：PLC觸摸屏全自動控制，采用歐姆龍、施耐德等品牌電器元件,有手動、自動兩種控制模式，12”真彩 觸摸屏，西門子可編程控制器，可在線設定、修改、監(jiān)控真空壓力、處理時間、氣體流量、等離子功率等工藝參數(shù)，并具有故障報警、工藝存儲、密碼鎖定、系統(tǒng)維護等多種功能。
真空系統(tǒng)：日本愛發(fā)科電阻式真空計，日本SMC破真空系統(tǒng)等
輸入氣體控制系統(tǒng)：2路日本SMC電磁閥門，2路日本SMC減壓表（帶無壓力報警裝置，帶過濾裝置）等
等離子發(fā)生器: ENI射頻電源,功率0-600W連續(xù)調節(jié),自動阻抗匹配，全電路保護，可連續(xù)長時間工作。
