概述 Edwards 有源倒磁控管真空計(jì) (AIM) 在一個(gè)緊湊的有源裝置中包含規(guī)頭和控制器。從科學(xué)儀器到工業(yè)制程的多種應(yīng)用場合，均已證明這些真空計(jì)堅(jiān)固。 此真空計(jì)具有線性輸出，易于與計(jì)算機(jī)或 PLC 結(jié)合使用。 應(yīng)用 適用于處于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范圍內(nèi)的所有需要穩(wěn)定的壓力指示的真空應(yīng)用。典型制程包括從一般真空到工業(yè)鍍膜機(jī)和熔爐再到科學(xué)儀器和半導(dǎo)體等各種應(yīng)用。 功能和優(yōu)勢 1.驅(qū)動(dòng)電子模塊與規(guī)頭合并在一起，降低了系統(tǒng)成本并節(jié)省了寶貴的機(jī)架空間 2.低輸出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供別的抗擾性，并允許使用長電纜（長可達(dá) 100 m） 3.低磁場型 XL 適用于敏感性應(yīng)用，例如質(zhì)譜分析和電子顯微鏡。 4.可更換的管體允許快速更換管件而無需預(yù)校準(zhǔn) 5.已獲 CSA C/US 批準(zhǔn) 6.范圍廣泛、符合標(biāo)準(zhǔn)的內(nèi)部電源可使用 13.5 到 36 V 的標(biāo)準(zhǔn)直流電，對電壓波動(dòng)有很好的承受力 7. 0 到 10 V 直流電壓的標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出和真空計(jì)標(biāo)識(shí)符允許輕松連接計(jì)算機(jī)或 PLC 和進(jìn)行故障輸出指示 8.電極維修套件允許用戶進(jìn)行清潔和維護(hù) 9.獨(dú)特的放電器設(shè)計(jì)確保即使在高真空或污染環(huán)境下也可以快速放電 10.壓力范圍更大 技術(shù)數(shù)據(jù) 壓力范圍 AIM-X 10-2 至 10-9 mbar 準(zhǔn)確度* 通常為 ±30% 較大過壓 10 bar (145 psi) 電源供給 13.5 至 36 V 直流（較大 1 V 波動(dòng)） 功耗 2 W（較大） 輸出信號(hào) 2 至 10 V 直流 設(shè)定點(diǎn) 開路集電極晶體管 較大電壓 40 V 直流 電流 100 mA（較大） 溫度范圍 工作 5 至 60°C