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X射線光電子能譜儀（X-ray Photoelectron Spectroscopy，XPS）是廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)領(lǐng)域的高技術(shù)分析儀器，主要用于固體材料的表面（2～3nm深度）元素成分和價態(tài)的定性和定量分析。Kratos公司作為世界上較早生產(chǎn)商品化X射線光電子能譜儀的廠家之一，其產(chǎn)品在世界上許多的大學(xué)、科研機(jī)構(gòu)和企業(yè)公司中都有應(yīng)用。
測試內(nèi)容: （1）提供樣品表面和內(nèi)部成分分析，可采用氬離子濺射處理，同時可進(jìn)行剖面AES分析； （2）固體樣品可提供<50oC角度側(cè)傾掃，提供表面 2-10nm精細(xì)元素分布分析； （3）可進(jìn)行微區(qū)元素分析； （4）儀器精度：0.05eV。 應(yīng)用范圍： 電子能譜儀主要用于表面的成分分析和表面元素化學(xué)狀態(tài)的分析，主要使用范圍如下：（1）半導(dǎo)體大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路的研究; （2）冶金工業(yè)：尋求各種表面處理技術(shù)，以獲得材料的特殊性能，如耐磨性、高硬度，耐腐蝕性等；（3）固體化學(xué)；研究固體的表面吸附，表面反應(yīng)和表面化學(xué)狀態(tài)；（4）材料科學(xué)：研究材料表面的成分和結(jié)構(gòu)，探索表面性能。
