MKS流量計(jì)、MKS傳感器、MKS薄膜真空計(jì)、MKS閥、MKS流量控制閥
美國(guó)MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導(dǎo)體零部件的供應(yīng)商，在氣體、真空儀器及制程控制應(yīng)用等方面有技術(shù)獨(dú)到之處，美國(guó)萬機(jī)儀器MKS INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測(cè)量和控制核心技術(shù)，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)，其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和制造過程中。
MKS流量計(jì)是以單位時(shí)間內(nèi)壓力體積的流量方式來控制氣體質(zhì)量流量的測(cè)量?jī)x器。MKS薄膜真空計(jì)、MKS流量控制閥、MKS流量計(jì)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)，鍍膜玻璃，醫(yī)藥制藥行業(yè)，生物工程行業(yè)，適合各種氣體媒介，常用的有氧氣，氫氣，氮?dú)?，氯化氫氣體，氨氣，SICL4硅烷氣體等。
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MKS傳感器
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