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Sonoscan AW系列 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡
AW系列產(chǎn)品是為晶圓檢測而設(shè)計全自動系統(tǒng)。高靈敏度和能的優(yōu)勢可用于多種鍵合的晶圓的評估，如SOI，MEMS，LED，2.5D和3D。該AW系列可以檢測兩晶圓間空隙直徑只有5微米以及晶圓分層薄至200埃的間隙。具有兩個或更多的掃描頭，分段站和干燥站時，AW被設(shè)計為有效地掃描晶圓并同時進行干燥。
AW 系列-AW200
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Sonoscan AW系列 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡
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