電子級清潔管控系統(tǒng)可以對各類液體的顆粒度、清潔度、污染物進(jìn)行管理、控制、監(jiān)測和分析；設(shè)備及零部件沖洗顆粒污染物的管控及測試，凈溶液和電子級用水中不溶性微粒的管控及測試，電子化學(xué)品中顆粒物控制及中小試評價。

本方案涵蓋控制系統(tǒng)、清潔系統(tǒng)、動力系統(tǒng)和監(jiān)測系統(tǒng)等單元，利用動力系統(tǒng)單元將所需清潔物質(zhì)通過清潔系統(tǒng)單元進(jìn)行循環(huán)清潔處理，利用監(jiān)控系統(tǒng)和控制系統(tǒng)，進(jìn)行相關(guān)的調(diào)整并循環(huán)自凈，終達(dá)到相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。

本系統(tǒng)采用英國普洛帝“光阻測量顆?！焙汀熬芪⒓{米顆粒管控”兩項技術(shù)，可根據(jù)用戶的要求，內(nèi)置用戶所需多種管控工藝，實現(xiàn)多粒徑大小及數(shù)量的管控和檢測。

經(jīng)典第八代應(yīng)用軟件系統(tǒng)平臺，集結(jié)初濾、精濾、終濾、清洗、檢測、報警、校準(zhǔn)和標(biāo)定各模塊可實現(xiàn)方便的全自動化設(shè)定和操作，內(nèi)置判定標(biāo)準(zhǔn)、檢測曲線、模塊調(diào)試和聲光報警等。

與業(yè)內(nèi)的智能系統(tǒng)公司合作，選擇其的智能監(jiān)控技術(shù)型工控機(jī)，系統(tǒng)穩(wěn)定，性能穩(wěn)卓越。

具有標(biāo)準(zhǔn)串行RS232口或RS485口、LAN口、USB口等，可外接普洛帝智能工廠等自動化管理系統(tǒng)。

可按英標(biāo)、美標(biāo)、日標(biāo)、中標(biāo)等標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行標(biāo)定、校準(zhǔn)。

提供校準(zhǔn)物質(zhì)（GBW），協(xié)助客戶每年一次的校準(zhǔn)計量工作。

提供行業(yè)的“OIL17服務(wù)星” 簽約式服務(wù)，365天無憂使用。

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：

GB/T 11446.1-2013 電子級水

GBT 11446.3-2013 電子級水測試方法通則

GB/T 11446.9 電子級水中微粒的儀器測試方法

SJ/T 11638-2016 電子化學(xué)品中顆粒的測試方法

GBT 29024.2-2016 粒度分析 單顆粒的光學(xué)測量方法 第2部分：液體顆粒計數(shù)器光散射法

ISO 21501-2-2007 Determination of particle size distribution - Single particle light interaction methods - Part 2: Light scattering liquid-borne particle counter

ISO 14644-9-2012 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration

ISO 14644-10-2014 Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10. Classification of surface cleanliness by chemical concentration

JIS K0554-1995